-
公开(公告)号：CN100374761C
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200380106579.X
申请日：2003-12-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 日本发条株式会社
IPC: F16J13/18
Abstract: 本发明提供一种盖体装置，用于开闭形成在本体(8)上的开口部(12)，包括具有作用面和其相反侧的背面的盖体(14)。盖体(14)通过摇臂(24)可开闭地安装在本体(8)上。摇臂(24)具有在开口部(12)的周围，将摇臂(24)可旋转地支持在本体(8)上的第1轴(26)、和将盖体(14)借助背面可摇动地支持在摇臂(24)上的第2轴(34)。第2轴(34)配置在盖体(14)的重心(C1)和第1轴(26)之间。在第1轴及第2轴(26、34)之间的限制位置，在摇臂(24)和盖体(14)的背面之间配置限制部件(50)。限制部件(50)控制限制位置上的摇臂(24)和盖体(14)背面间的距离，以使盖体(14)的作用面与开口部(12)平行。
-
公开(公告)号：CN111081599B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201910993949.9
申请日：2019-10-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置和搬送位置校正方法，针对载置台高精度地搬送基板。基板处理装置具备：搬送机构，其具有保持基板的第一拾取器，用于搬送基板；检测机构，其检测由搬送机构搬送来的基板的位置；载置台，其设置于处理腔室内，用于载置基板；升降机构，其以相对于载置台进退自如的方式设置，用于使基板升降；以及控制装置，其控制搬送机构和升降机构。控制装置具备：调整部，其进行示教处理；检测部，其将基板从第一拾取器交接至载置台以及从载置台交接至第一拾取器，并利用检测机构来检测从载置台被交接至第一拾取器的基板的第一位置；以及校正部，其基于基板的第一位置与基准位置的偏移量来校正第一拾取器的位置。
-
公开(公告)号：CN111081599A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201910993949.9
申请日：2019-10-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置和搬送位置校正方法，针对载置台高精度地搬送基板。基板处理装置具备：搬送机构，其具有保持基板的第一拾取器，用于搬送基板；检测机构，其检测由搬送机构搬送来的基板的位置；载置台，其设置于处理腔室内，用于载置基板；升降机构，其以相对于载置台进退自如的方式设置，用于使基板升降；以及控制装置，其控制搬送机构和升降机构。控制装置具备：调整部，其进行示教处理；检测部，其将基板从第一拾取器交接至载置台以及从载置台交接至第一拾取器，并利用检测机构来检测从载置台被交接至第一拾取器的基板的第一位置；以及校正部，其基于基板的第一位置与基准位置的偏移量来校正第一拾取器的位置。
-
公开(公告)号：CN1726365A
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN200380106579.X
申请日：2003-12-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 日本发条株式会社
IPC: F16J13/18
CPC classification number: F16J13/18 , F16J13/20 , Y10T16/53235 , Y10T16/53834
Abstract: 本发明提供一种盖体装置，用于开闭形成在本体(8)上的开口部(12)，包括具有作用面和其相反侧的背面的盖体(14)。盖体(14)通过摇臂(24)可开闭地安装在本体(8)上。摇臂(24)具有在开口部(12)的周围，将摇臂(24)可旋转地支持在本体(8)上的第1轴(26)、和将盖体(14)借助背面可摇动地支持在摇臂(24)上的第2轴(34)。第2轴(34)配置在盖体(14)的重心(C1)和第1轴(26)之间。在第1轴及第2轴(26、34)之间的限制位置，在摇臂(24)和盖体(14)的背面之间配置限制部件(50)。限制部件(50)控制限制位置上的摇臂(24)和盖体(14)背面间的距离，以使盖体(14)的作用面与开口部(12)平行。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.02 seconds)
