公开(公告)号：CN111081599B

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN201910993949.9

申请日：2019-10-18

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 冈宽树 ,  成岛大 ,  大槻翔 ,  新藤健弘

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置和搬送位置校正方法，针对载置台高精度地搬送基板。基板处理装置具备：搬送机构，其具有保持基板的第一拾取器，用于搬送基板；检测机构，其检测由搬送机构搬送来的基板的位置；载置台，其设置于处理腔室内，用于载置基板；升降机构，其以相对于载置台进退自如的方式设置，用于使基板升降；以及控制装置，其控制搬送机构和升降机构。控制装置具备：调整部，其进行示教处理；检测部，其将基板从第一拾取器交接至载置台以及从载置台交接至第一拾取器，并利用检测机构来检测从载置台被交接至第一拾取器的基板的第一位置；以及校正部，其基于基板的第一位置与基准位置的偏移量来校正第一拾取器的位置。

公开(公告)号：CN111081599A

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201910993949.9

申请日：2019-10-18

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 冈宽树 ,  成岛大 ,  大槻翔 ,  新藤健弘

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置和搬送位置校正方法，针对载置台高精度地搬送基板。基板处理装置具备：搬送机构，其具有保持基板的第一拾取器，用于搬送基板；检测机构，其检测由搬送机构搬送来的基板的位置；载置台，其设置于处理腔室内，用于载置基板；升降机构，其以相对于载置台进退自如的方式设置，用于使基板升降；以及控制装置，其控制搬送机构和升降机构。控制装置具备：调整部，其进行示教处理；检测部，其将基板从第一拾取器交接至载置台以及从载置台交接至第一拾取器，并利用检测机构来检测从载置台被交接至第一拾取器的基板的第一位置；以及校正部，其基于基板的第一位置与基准位置的偏移量来校正第一拾取器的位置。