公开(公告)号：CN119890074A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202411436386.0

申请日：2024-10-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 长田创 ,  奥田胜也 ,  岩永尚大 ,  小佐井一树 ,  盐川俊行

IPC: H01L21/67 ,  F17D1/08

Abstract: 本公开提供一种液供给装置、液供给方法以及存储介质，能够降低循环线内的处理液被污染。本公开的液供给装置具备处理液线、加热机构、过滤器、排液线、第一温度传感器以及控制部。处理液线向对基板进行液处理的液处理部供给处理液。加热机构设置于处理液线，加热在处理液线中流动的处理液。过滤器设置于处理液线中的加热机构的下游侧的位置。排液线设置于处理液线中的过滤器的下游侧的位置，用于排出在处理液线中流动的处理液。第一温度传感器设置于过滤器、处理液线的位于过滤器与排液线之间的位置、或排液线，探测过滤器、处理液线、排液线或处理液的温度。控制部基于第一温度传感器的探测结果，来决定是否将处理液从排液线排出。

公开(公告)号：CN119890072A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202411432203.8

申请日：2024-10-14

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 长田创 ,  奥田胜也 ,  岩永尚大 ,  小佐井一树

IPC: H01L21/67 ,  F17D1/14 ,  F17D1/18 ,  F17D3/01 ,  F17D3/18

Abstract: 提供一种液供给装置、液供给方法以及存储介质。具备罐、循环线、泵以及供给线。循环线具备设置有泵的主线、以及从主线分支出的第一分支线和第二分支线。第一分支线具备第一加热机构、第一过滤器以及第一排液线，还具备第一分支循环线和第一阀，该第一分支循环线从第一加热机构与第一过滤器之间分支出，使从罐输送出的处理液向罐返回，该第一阀在第一排液线与第一分支线之间切换处理液的流出目的地。第二分支线具备第二加热机构、第二过滤器以及第二排液线，还具备第二分支循环线和第二阀，该第二分支循环线从第二加热机构与第二过滤器之间分支出，使从罐输送出的处理液向罐返回，该第二阀在第二排液线与第二分支线之间切换处理液的流出目的地。

公开(公告)号：CN117917760A

公开(公告)日：2024-04-23

申请号：CN202311327295.9

申请日：2023-10-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 笠原政俊 ,  内野圭一朗 ,  森祯道 ,  岩永尚大

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供即使在使用粘度较高的药液时也能够以较少的部件个数实现较高的清洁度和释放精度的处理液供给系统及其运转方法。本发明的一个实施方式的处理液供给系统包括：罐，其贮存从处理液供给部供给的处理液；与上述罐连接的循环通路；多个供给通路，其与上述循环通路连接，向对基片进行液处理的多个液处理部分别供给处理液；第一泵过滤器组，其是第一泵和设置于其下游侧的多个第一过滤器的组合；以及第二泵过滤器组，其是第二泵和设置于其下游侧的多个第二过滤器的组合，上述第一泵过滤器组和上述第二泵过滤器组以上述第一泵过滤器组位于比上述第二泵过滤器组靠上游侧处的方式串联地配置于上述循环通路。