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公开(公告)号：CN100429758C
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200610109166.2
申请日：2003-10-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/68 , G02F1/1333 , G02F1/13 , B65G49/06
Abstract: 本发明的基板校准装置包括：为了基本上水平地载置支承被处理基板(G)而分散地配置在基本上水平的工作台(100)上的多个可在水平方向上位移的支承部(152)，将载置于前述支承部上的前述被处理基板在水平面内向规定的方向推压而进行定位的定位机构(102)。借助这种结构，不会对被处理基板造成伤害及擦痕，不会产生污染，可以安全并且正确、进而高效率地进行基板的对位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1916718A
公开(公告)日：2007-02-21
申请号：CN200610109166.2
申请日：2003-10-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G02F1/1333 , G02F1/13 , B65G49/06
Abstract: 本发明的基板校准装置包括：为了基本上水平地载置支承被处理基板(G)而分散地配置在基本上水平的工作台(100)上的多个可在水平方向上位移的支承部(152)，将载置于前述支承部上的前述被处理基板在水平面内向规定的方向推压而进行定位的定位机构(102)。借助这种结构，不会对被处理基板造成伤害及擦痕，不会产生污染，可以安全并且正确、进而高效率地进行基板的对位。
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公开(公告)号：CN1279579C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN02141538.2
申请日：2002-08-08
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 拉出小镊子(43)从盒(C)取出基板(G)，一拉出小镊子(43)，在取出基板(G)之前，位置(P)上的传感器(9)就描绘轨迹(T)，移动通过基板(G)的一边(Ga)。因此，被保持的基板(G)的关于与小镊子(43)的进退方向正交的方向(Y方向)的位置根据传感器(9)接收移动通过一边(Ga)时的反射光的定时和电动机(6)的旋转脉冲数算出。随之，通过与小镊子(43)的保持正常位置时的定时比较，就能够检测位置偏移。
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公开(公告)号：CN1277299C
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN200310102643.9
申请日：2003-10-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/68 , H01L21/027 , G03F9/00 , G03F7/00 , G02F1/133
Abstract: 在把基板(G)载置于工作台(100)上的状态下，通过经由气体供应管(118)和筒状支承体(114)内的通气路径(114a)、从气体喷出部(116)以规定的压力喷出从高压气体供应源来的高压空气，使基板(G)实质上从支承销(108)上浮起。由于气体喷出部(116)形成喇叭型，所以，与基板(G)下表面接触的空气不会产生涡流，顺滑地通过间隙(g)而排出到外部。借助这种结构，不会对被处理基板造成伤害及擦痕，不会产生污染，可以安全并且正确、进而高效率地进行基板的对位。
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公开(公告)号：CN1499299A
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN200310102643.9
申请日：2003-10-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G03F9/00 , G03F7/00 , G02F1/133 , H01L21/027
Abstract: 在把基板(G)载置于工作台(100)上的状态下，通过经由气体供应管(118)和筒状支承体(114)内的通气路径(114a)、从气体喷出部(116)以规定的压力喷出从高压气体供应源来的高压空气，使基板(G)实质上从支承销(108)上浮起。由于气体喷出部(116)形成喇叭型，所以，与基板(G)下表面接触的空气不会产生涡流，顺滑地通过间隙(g)而排出到外部。借助这种结构，不会对被处理基板造成伤害及擦痕，不会产生污染，可以安全并且正确、进而高效率地进行基板的对位。
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公开(公告)号：CN1405839A
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：CN02141538.2
申请日：2002-08-08
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 拉出小镊子(43)从盒(C)取出基板(G)，一拉出小镊子(43)，在取出基板(G)之前，位置(P)上的传感器(9)就描绘轨迹(T)，移动通过基板(G)的一边(Ga)。因此，被保持的基板(G)的关于与小镊子(43)的进退方向正交的方向(Y方向)的位置根据传感器(9)接收移动通过一边(Ga)时的反射光的定时和电动机(6)的旋转脉冲数算出。随之，通过与小镊子(43)的保持正常位置时的定时比较，就能够检测位置偏移。
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