公开(公告)号：CN102161028A

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：CN201110041263.3

申请日：2011-02-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小笠原幸雄 ,  宫崎文宏 ,  元田公男

IPC: B05B15/02 ,  B05C5/02

Abstract: 本发明提供一种狭缝喷嘴清洗装置，能够短时间有效清洗狭缝喷嘴的喷出口周边部。该狭缝喷嘴清洗部(52)具有沿着狭缝喷嘴(32)的喷出口周边部在与狭缝喷嘴的长边方向平行的水平的清洗扫描方向(Y方向)移动的滑动架(64)。狭缝喷嘴清洗部(52)，在清洗扫描方向，以第一清洗单元(70)为始，以下为第一擦拭单元(72)、第二清洗单元(74)、第二擦拭单元(76)和干燥单元(78)，以该顺序排成一列地搭载在该滑动架(64)上。

公开(公告)号：CN104106125B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201380008842.5

申请日：2013-01-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 稻益寿史 ,  小笠原幸雄 ,  田代佳

IPC: H01L21/027 ,  B05C5/02 ,  B05C11/10

CPC classification number: B05C11/00 ,  B05B15/52 ,  B05B15/531 ,  B05B15/55 ,  B05C5/0254 ,  B08B1/006 ,  B41J2/16517 ,  B41J2/16535 ,  H01L21/67051

Abstract: 本发明提供一种用于擦拭附着在狭缝喷嘴的喷出口和喷嘴侧面的处理液的擦拭垫(49)，其中，该擦拭垫(49)包括：刮除边(49d1)，其以与上述喷出口的长边方向交叉、并能够与上述喷出口和上述喷嘴侧面相抵接的方式设置；以及导出路径(49a)，其用于将由该刮除边(49d1)刮除的处理液向在沿着喷嘴长边方向的移动方向上的比上述刮除边(49d1)靠前侧的位置排出，上述导出路径(49a)是沿着上述移动方向形成于垫上表面(49g)侧的V字槽，上述V字槽形成为在上述V字槽的后端缘部形成有上述刮除边(49d1)且槽宽度和深度随着自上述刮除边(49d1)朝向前方去而逐渐变大。

公开(公告)号：CN104106125A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201380008842.5

申请日：2013-01-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 稻益寿史 ,  小笠原幸雄 ,  田代佳

IPC: H01L21/027 ,  B05C5/02 ,  B05C11/10

CPC classification number: B05C11/00 ,  B05B15/52 ,  B05B15/531 ,  B05B15/55 ,  B05C5/0254 ,  B08B1/006 ,  B41J2/16517 ,  B41J2/16535 ,  H01L21/67051 ,  B05B15/50

Abstract: 本发明提供一种用于擦拭附着在狭缝喷嘴的喷出口和喷嘴侧面的处理液的擦拭垫(49)，其中，该擦拭垫(49)包括：刮除边(49d1)，其以与上述喷出口的长边方向交叉、并能够与上述喷出口和上述喷嘴侧面相抵接的方式设置；以及导出路径(49a)，其用于将由该刮除边(49d1)刮除的处理液向在沿着喷嘴长边方向的移动方向上的比上述刮除边(49d1)靠前侧的位置排出，上述导出路径(49a)是沿着上述移动方向形成于垫上表面(49g)侧的V字槽，上述V字槽形成为在上述V字槽的后端缘部形成有上述刮除边(49d1)且槽宽度和深度随着自上述刮除边(49d1)朝向前方去而逐渐变大。