公开(公告)号：CN100449408C

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：CN200510092900.4

申请日：2005-08-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 元田公男 ,  立山清久 ,  富田龙生

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/16 ,  B05C5/02

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置和基板定位装置，可省空间高效率地决定被处理基板的位置。在将基板(G)移载在提升销(132)上后，各旋转驱动部(152)经过旋转驱动轴(154)使各偏心可动定位销(150)从原来位置旋转约半圈。通过这样做，一面使定位销(150)偏心旋转运动一面向着与它对置的基板(G)的各边移动，套环(接触部)(150b)与基板边缘部(基板侧面)接触，进一步从那里按压基板(G)。因此，使基板(G)在按压在提升销(132)上的方向中变位或移动，将基板(G)的相反侧的长边按压到固定定位销。结果，将基板(G)夹持在偏心可动定位销(150)和固定定位销之间，完成定位。

公开(公告)号：CN1746776A

公开(公告)日：2006-03-15

申请号：CN200510092900.4

申请日：2005-08-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 元田公男 ,  立山清久 ,  富田龙生

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/16 ,  B05C5/02

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置和基板定位装置，可省空间高效率地决定被处理基板的位置。在将基板(G)移载在提升销(132)上后，各旋转驱动部(152)经过旋转驱动轴(154)使各偏心可动定位销(150)从原来位置旋转约半圈。通过这样做，一面使定位销(150)偏心旋转运动一面向着与它对置的基板(G)的各边移动，套环(接触部)(150b)与基板边缘部(基板侧面)接触，进一步从那里按压基板(G)。因此，使基板(G)在按压在提升销(132)上的方向中变位或移动，将基板(G)的相反侧的长边按压到固定定位销。结果，将基板(G)夹持在偏心可动定位销(150)和固定定位销之间，完成定位。