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公开(公告)号：CN107728430B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN201710687320.2
申请日：2017-08-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供了一种高纯度分配单元。本文的技术包括一种基于囊状部的分配系统，该分配系统使用了构造成选择性地扩张及收缩以帮助进行分配动作的长形囊状部。该分配系统对通常伴随着用于微型品制造的流体过滤而出现的过滤器滞后进行补偿。该分配系统还提供了一种高纯度和高精度的分配单元。模块化液压单元容置长形囊状部以及与囊状部的外表面接触的液压流体。当加压的过程流体位于长形囊状部中时，液压控制可以选择性地使囊状部上的压力减小以引起扩张并且随后选择性地使液压压力增大，以帮助进行分配动作。
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公开(公告)号：CN107728432A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710687322.1
申请日：2017-08-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 安东·J·德维利耶 , 罗德尼·L·罗宾森 , 大卫·特拉维斯 , 罗纳德·纳斯曼 , 詹姆斯·格罗特格德 , 小诺曼·A·雅各布森 , 大卫·黑策 , 利奥尔·胡利 , 乔舒亚·S·霍格
CPC classification number: H01L21/0275 , B05B15/557 , B05C5/02 , B05C11/1007 , B05C11/1047 , H01L21/02118 , H01L21/67017 , H01L21/67023 , H01L21/6715 , G03F7/16 , B05B9/04 , B05B12/081 , B05B12/085
Abstract: 文中的技术包括一种基于囊状部的分配系统，该分配系统使用了构造成选择性地扩张及收缩以帮助进行分配动作的长形囊状部。该分配系统对通常伴随着用于微型品制造的流体过滤而出现的过滤器滞后进行补偿。该分配系统还提供了一种高纯度和高精度分配单元。过程流体过滤器位于过程流体源以及系统阀的下游。过程流体过滤器的下游未设置阀门。分配动作可以在系统阀打开时通过利用长形囊状部而开始及停止。该长形囊状部可以扩张以使分配动作停止或暂停，以及可以收缩以帮助进行分配动作。
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公开(公告)号：CN107728431A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710687321.7
申请日：2017-08-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 安东·J·德维利耶 , 罗德尼·L·罗宾森 , 大卫·特拉维斯 , 罗纳德·纳斯曼 , 詹姆斯·格罗特格德 , 小诺曼·A·雅各布森 , 大卫·黑策 , 利奥尔·胡利 , 乔舒亚·S·霍格
CPC classification number: H01L21/0275 , B05C5/02 , B05C11/1007 , B05C11/1047 , H01L21/02118 , H01L21/67017 , H01L21/67023 , H01L21/6715 , H01L21/67253 , H01L22/12 , G03F7/16 , B05B9/04 , B05B12/081 , B05B12/085
Abstract: 本发明提供了一种用于分配流体的装置。本文中的技术方案包括使用长形囊状部的基于囊状部的分配系统，该长形囊状部扩张以及收缩以辅助分配动作。该分配系统对通常与微型品制造的流体过滤相伴随的过滤器滞后进行补偿。该分配系统还提供了高纯度且高精度的分配单元。弯液面传感器检测过程流体在喷嘴处的弯液面的位置。长形囊状部单元通过使囊状部选择性地扩张或收缩而用于使弯液面的位置保持在特定位置处，从而移动弯液面位置或保持弯液面位置。长形囊状部的扩张还用于在完成分配动作之后的回吸动作。
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公开(公告)号：CN107728430A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710687320.2
申请日：2017-08-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G03F7/16 , G03F7/30 , H01L21/0274 , H01L22/26 , B05B9/04 , B05B12/081 , B05B12/085
Abstract: 本发明提供了一种高纯度分配单元。本文的技术包括一种基于囊状部的分配系统，该分配系统使用了构造成选择性地扩张及收缩以帮助进行分配动作的长形囊状部。该分配系统对通常伴随着用于微型品制造的流体过滤而出现的过滤器滞后进行补偿。该分配系统还提供了一种高纯度和高精度的分配单元。模块化液压单元容置长形囊状部以及与囊状部的外表面接触的液压流体。当加压的过程流体位于长形囊状部中时，液压控制可以选择性地使囊状部上的压力减小以引起扩张并且随后选择性地使液压压力增大，以帮助进行分配动作。
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