公开(公告)号：CN101803472B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200880108012.9

申请日：2008-09-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 太田龙作 ,  足立光 ,  中西敏雄 ,  植田笃 ,  康松润 ,  保罗·莫罗兹 ,  彼得·文特泽克

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/31

CPC classification number: H05H1/46 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/3222 ,  H01J37/32229

Abstract: 本发明提供一种缝隙天线方式的微波等离子体处理装置(100)，其具备：构成扁平波导管的平面天线板(31)及由导电性构件制成的外罩(34)。外罩(34)具备用于调整扁平波导管内的电场分布的作为第二波导管的短截线(43)。短截线(43)设有由导电性构件制成的外罩(34)。短截线(43)在俯视时，配置于与构成排列于平面天线板(31)的最外周的缝隙对的缝隙(32)重合的位置。利用短截线(43)的合适的配置，可以控制扁平波导管内的电场分布而生成均匀的等离子体。

公开(公告)号：CN101803472A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200880108012.9

申请日：2008-09-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 太田龙作 ,  足立光 ,  中西敏雄 ,  植田笃 ,  康松润 ,  保罗·莫罗兹 ,  彼得·文特泽克

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/31

CPC classification number: H05H1/46 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/3222 ,  H01J37/32229

Abstract: 本发明提供一种缝隙天线方式的微波等离子体处理装置(100)，其具备：构成扁平波导管的平面天线板(31)及由导电性构件制成的外罩(34)。外罩(34)具备用于调整扁平波导管内的电场分布的作为第二波导管的短截线(43)。短截线(43)设有由导电性构件制成的外罩(34)。短截线(43)在俯视时，配置于与构成排列于平面天线板(31)的最外周的缝隙对的缝隙(32)重合的位置。利用短截线(43)的合适的配置，可以控制扁平波导管内的电场分布而生成均匀的等离子体。