公开(公告)号：CN111868907B

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN201980017669.2

申请日：2019-03-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 伊万·多姆绍 ,  伊恩·科尔根 ,  斋藤诚 ,  山崎满 ,  乔治·艾尔斯

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/67

Abstract: 提供了一种水平式衬底承载装置，例如用于在水平式热处理期间保持半导体衬底的承载装置。水平式衬底承载装置具有不对称放置的支承导轨。水平式衬底承载装置的一侧没有上导轨，而水平式衬底承载装置的另一侧具有在相对高位置处放置的上导轨，例如处于60°或更大的角位置，更优选地处于70°或更大的角位置，并且最优选地处于90°的角位置。没有上导轨的一侧可以用于水平式衬底承载装置的机械手装载。在优选实施方式中，设置了仅三个导轨：两个下导轨以及在一侧的一个上导轨。这三个导轨的使用和放置可以将衬底保持在精确均匀的位置，使衬底移动最小化，并且使颗粒生成最小化，与此同时还使得能够轻松进行机械手接近。

公开(公告)号：CN111868907A

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN201980017669.2

申请日：2019-03-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 伊万·多姆绍 ,  伊恩·科尔根 ,  斋藤诚 ,  山崎满 ,  乔治·艾尔斯

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/67

Abstract: 提供了一种水平式衬底承载装置，例如用于在水平式热处理期间保持半导体衬底的承载装置。水平式衬底承载装置具有不对称放置的支承导轨。水平式衬底承载装置的一侧没有上导轨，而水平式衬底承载装置的另一侧具有在相对高位置处放置的上导轨，例如处于60°或更大的角位置，更优选地处于70°或更大的角位置，并且最优选地处于90°的角位置。没有上导轨的一侧可以用于水平式衬底承载装置的机械手装载。在优选实施方式中，设置了仅三个导轨：两个下导轨以及在一侧的一个上导轨。这三个导轨的使用和放置可以将衬底保持在精确均匀的位置，使衬底移动最小化，并且使颗粒生成最小化，与此同时还使得能够轻松进行机械手接近。