公开(公告)号：CN114388326A

公开(公告)日：2022-04-22

申请号：CN202111143115.2

申请日：2021-09-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山泽阳平 ,  齐藤武尚 ,  藤原直树 ,  藤原香 ,  仓科大辅 ,  保坂勇贵

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明涉及等离子体处理装置和天线组件。使进行等离子体处理时的电场强度降低，并且使对基板而言的等离子体分布的均匀性提高。等离子体处理装置具有：主线圈，其设于等离子体处理腔室的上部或上方；和副线圈组件，其设于主线圈的径向内侧或径向外侧。副线圈组件包含第1螺旋状线圈和第2螺旋状线圈。第1螺旋状线圈的各匝部和第2螺旋状线圈的各匝部在铅垂方向上交替地配置。第1螺旋状线圈的第1上侧端子借助一个以上的电容器连接于接地电位，第1螺旋状线圈的第1下侧端子连接于接地电位。第2螺旋状线圈的第2上侧端子借助一个以上的电容器或一个以上的其他的电容器连接于接地电位，第2螺旋状线圈的第2下侧端子连接于接地电位。

公开(公告)号：CN114975058A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210121035.5

申请日：2022-02-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 齐藤武尚 ,  山泽阳平 ,  中岛俊希 ,  仓科大辅 ,  藤原直树

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种电感耦合等离子体激发用天线、电感耦合等离子体激发用天线组件和等离子体处理装置。该电感耦合等离子体激发用天线包括：多个线圈单元；和导电性板，其与所述多个线圈单元连接，具有中央开口部和至少一个板端子。根据本发明，在使用电感耦合等离子体激发用天线激发等离子体时，提高该天线的磁场生成效率，并且提高磁场强度的周向均匀性。