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1.

发明公开
涂敷装置无效

公开(公告)号：CN101134189A

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：CN200710145586.0

申请日：2007-08-28

Applicant: 东京应化工业株式会社 , 龙云株式会社

Inventor： 宫本英典 , 升芳明 , 池尻浩一 , 曽根康博

IPC: B05C5/00 , B05C11/00

Abstract: 本发明提供一种涂敷装置，其能减弱外部振动的影响，特别是能有效抑制因外部振动而引起的共振。在支撑载台(2)和狭缝喷嘴移动机构的方管(20、21a～21c)的凹部(30)中，填装防共振部件(31)。由于在方管中填装防共振部件可改变基座(1)的固有振动频率，因此不会因外部振动而变成共振状态。

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