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公开(公告)号：CN102226868A
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201110158684.4
申请日：2006-05-11
Applicant: 东京应化工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0007 , G02F1/133526 , G03F7/031 , G03F7/033 , G03F7/2022
Abstract: 本发明提供一种用于制造三维微成型体的方法，包括：将感光性干薄膜的感光性树脂组合物层覆盖在透明基板上，至少所述感光性树脂组合物层积层在支撑薄膜上；通过从透明基板侧以使光量沿着所述透明基板的平面发生变化的方式在所述感光性树脂组合物层上照射光化射线，在所述感光性树脂组合物层内部形成三维微成型体的硬化潜像；剥除所述支撑薄膜；和用显影液溶解而去除所述感光性树脂组合物层的未曝光部分，其中所述感光性树脂组合物层，是通过涂布包含以含有至少一个官能团的聚合性单体作为主成分的树脂成分和光聚合引发剂的感光性树脂组合物，并使其干燥而形成。
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公开(公告)号：CN101185025A
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200680015650.7
申请日：2006-05-11
Applicant: 东京应化工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0007 , G02F1/133526 , G03F7/031 , G03F7/033 , G03F7/2022
Abstract: 本发明提供一种用于制造三维微成型体的感光性树脂组合物和使用此感光性树脂组合物的感光性干薄膜，将光化学射线曝光量(mJ/cm2)设为x，以显影后的残膜厚Δh(μm)相对于显影前的涂布膜厚h(μm)的比y(＝Δh/h)来表示由此曝光量所产生的树脂硬化量，以此求得x与y的关系式y＝αLn(x)±β(β为任意实数)，此时，所述用于制造三维微成型体的感光性树脂组合物具有0.35≤α≤0.78的高灵敏度。由此可提高具有特定立体面的三维微成型体的成型精确度。
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公开(公告)号：CN101091138A
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN200680001574.4
申请日：2006-01-23
Applicant: 东京应化工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0385 , B41J2/16 , B41J2/1631 , G03F7/038
Abstract: 提供一种感光性层合膜及应用该感光性层合膜形成精密微细空间的方法，该感光性层合膜用于形成精密微细空间的顶板部。该感光性层合膜适合用于有效和廉价地形成各种精密微细空间，尤其是形成于电子部件如喷墨头中的精密微细空间。作为用于形成精密微细空间的顶板部的感光性层合膜采用层合膜，该层合膜提供至少一个感光性组合物层和透明支持层，该感光性层合膜通过被设置在精密微小的凹部上以覆盖上部开口后被固化来构成精密微细空间的顶板部。该透明支持膜支撑该感光性组合物层和防止该感光性组合物层在固化时变形。
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公开(公告)号：CN101091138B
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200680001574.4
申请日：2006-01-23
Applicant: 东京应化工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0385 , B41J2/16 , B41J2/1631 , G03F7/038
Abstract: 提供一种感光性层合膜及应用该感光性层合膜形成精密微细空间的方法，该感光性层合膜用于形成精密微细空间的顶板部。该感光性层合膜适合用于有效和廉价地形成各种精密微细空间，尤其是形成于电子部件如喷墨头中的精密微细空间。作为用于形成精密微细空间的顶板部的感光性层合膜采用层合膜，该层合膜提供至少一个感光性组合物层和透明支持层，该感光性层合膜通过被设置在精密微小的凹部上以覆盖上部开口后被固化来构成精密微细空间的顶板部。该透明支持膜支撑该感光性组合物层和防止该感光性组合物层在固化时变形。
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公开(公告)号：CN1875322B
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200480031619.3
申请日：2004-11-18
Applicant: 东京应化工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , H05K3/287 , H05K3/4676
Abstract: 本发明提供一种用于制备永久膜的光敏热固性树脂组合物，其能够形成树脂层，所述的树脂层在形成图案后通过加热粘合具有优异的流动性，并且也具有优异的粘合力，以及粘合性能和/或密封性能。该组合物含有：(A)碱溶性树脂和(C)交联聚乙烯基醚化合物的反应产物、(B)在用辐射线的辐照下生成酸的化合物和(D)环氧树脂。
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公开(公告)号：CN1875322A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200480031619.3
申请日：2004-11-18
Applicant: 东京应化工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , H05K3/287 , H05K3/4676
Abstract: 本发明提供一种用于制备永久膜的光敏热固性树脂组合物，其能够形成树脂层，所述的树脂层在形成图案后通过加热粘合具有优异的流动性，并且也具有优异的粘合力，以及粘合性能和/或密封性能。该组合物含有：(A)碱溶性树脂和(C)交联聚乙烯基醚化合物的反应产物、(B)在用辐射线的辐照下生成酸的化合物和(D)环氧树脂。
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