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公开(公告)号：CN103137714A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201110392239.4
申请日：2011-12-01
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
IPC: H01L31/0216 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及一种太阳能电池三层复合钝化减反层，其特征在于，在硅太阳能电池基底上用原子层沉积方法制备一种三层复合钝化减反层，三层复合钝化减反层的结构从基底自下而上，分别为二氧化钛（TiO2）层、二氧化钛/二氧化硅（TiO2/SiO2）层、二氧化硅（SiO2）层。本发明还涉及一种太阳能电池三层复合钝化减反层的制备方法。本发明能够同时起到减反与钝化的作用，一方面降低了太阳能电池表面的反射率，另一方面也能减少载流子复合，提高电池性能，同时通过过渡层的引入，能够进一步提高减反、钝化作用。
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公开(公告)号：CN101974734B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201010565287.4
申请日：2010-11-30
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
IPC: C23C16/40
Abstract: 本发明涉及一种具有多层复合无机防护膜的基底材料的制备方法。该方法的具体步骤为：将基底材料放入反应室加热至100ºC～500ºC；将三甲基铝或Al(CH3)N(CH2)5CH3前驱体在0.1托～10托压力下通入反应室，时间为0.2秒～5秒；将氮气或惰性气体通入反应室，以清除未被基底化学吸附的三甲基铝或Al(CH3)N(CH2)5CH3残余气体；在0.1托～10托压力下，将臭氧或水蒸汽反应气体通入反应室，时间为0.2秒～5秒，在基底上形成一层氧化铝原子层的沉积，并使基底上覆盖的氧化铝层的厚度达到2nm～100nm；以氯硅烷、六氯乙硅烷或正硅酸四乙酯为硅源，取代三甲基铝或Al(CH3)N(CH2)5CH3前驱体，重复上述，在氧化铝层上覆盖二氧化硅层；二氧化硅层的厚度为2nm～100nm；最终得到一个厚度为5～120nm的具有Al2O3/SiO2双层结构复合无机防护膜的基底材料。该方法能够精确控制薄膜厚度，薄膜厚度可以在1～100nm直接精确可控，并且具有极好的抗氧化、防气体渗透性能。同时还能够控制Al2O3与SiO2的比例。
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公开(公告)号：CN101921984B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201010282390.8
申请日：2010-09-15
Applicant: 上海交通大学 , 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 一种纳米表面处理技术领域的基于MoS2-TiC-C的自润滑减摩复合薄膜及其制备方法，通过在不锈钢基片溅射纯钛或纯镍后进一步进行反应磁控溅射制备得到MoS2-TiC-C复合薄膜。本发明制备工艺简单，沉积过程易于控制，沉积后的复合薄膜无需进行热处理，可直接作为机械零部件表面的减摩防护薄膜使用。本工艺制备所得的复合薄膜硬度高，纳米硬度达到7.6GPa，抗磨减摩性能优异，摩擦系数可达到0.04，经摩擦磨损测试后薄膜表面未见磨穿脱落现象。
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公开(公告)号：CN102051594B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110030298.7
申请日：2011-01-28
Applicant: 上海交通大学 , 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 一种光电材料技术领域的原子层沉积制备Al掺杂ZnO透明导电薄膜的方法，通过将基片加热后依次进行多组复合沉积、每组复合沉积由多次ZnO沉积和Al掺杂沉积组成，得到原子层沉积制备的Al掺杂ZnO透明导电薄膜。本发明制备得到的透明导电薄膜均匀性优异；导电性好，电阻率可低至7.2×10-4cm；可见光透过率高，可达90％以上。
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公开(公告)号：CN102021535A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010600144.2
申请日：2010-12-21
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
IPC: C23C16/40
Abstract: 铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法，用真空泵将反应腔抽到低真空并加热，再用高纯氮清洗反应腔；将衬底在高纯去离子水中超声清洗；将二乙基锌通入反应腔脉冲时间0.1秒，清洗二乙基锌的脉冲时间为3秒；然后通入0.2秒的水蒸汽脉冲，再用4秒脉冲时间清洗掉多余的水蒸汽，完成一个沉积氧化锌的循环；将三甲基铝通入0.2秒脉冲时间，清洗脉冲时间为4秒；然后通入水蒸汽脉冲0.2秒，清洗脉冲时间4秒，完成一个沉积氧化铝的循环；多个沉积氧化锌的循环和1个沉积氧化铝的循环组成一个大循环，完成多个大循环后即制得铝掺杂氧化锌透明导电薄膜。该方法扩宽了铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的应用范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103000382A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201110272602.9
申请日：2011-09-15
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
CPC classification number: Y02E10/542 , Y02E10/549
Abstract: 本发明涉及一种用于燃料敏化太阳能电池的透明电极，其特征在于在常用导电透明电极表面沉积氧化锌纳米薄膜。本发明还涉及该电极的制备方法，其特征在于：将导电透明电极基板进行预处理并放入原子层沉积反应室，将反应室真空抽反应室温度加热至100℃～300℃；向沉积室中引入二乙基锌，持续时间为1秒，将氮气或惰性气体通入反应室，持续时间为3秒；向沉积室中引入水蒸汽，持续时间为1秒，沉积得到单层氧化锌，沉积结束后再用高纯氮气清洗沉积室，持续时间为3秒；循环反复沉积以获得一种用于燃料敏化太阳能电池的透明电极。可在基本不降低透明电极光学、电学性能情况下，提高染料敏化太阳能电池的使用性能。
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公开(公告)号：CN102277570A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110239699.3
申请日：2011-08-19
Applicant: 上海交通大学 , 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 本发明公开一种光电材料技术领域的ZnO/Cu/ZnO透明导电薄膜的制备方法，通过在基片上依次进行原子层沉积ZnO薄膜，磁控溅射沉积Cu中间层，原子层沉积ZnO薄膜。利用ZnO良好的光电特性和Cu的低电阻率，加入Cu中间层，形成ZnO/Cu/ZnO的三明治结构。由于Cu的掺入，载流子浓度增加，薄膜的导电性能有了很大的提高，电阻率可低至8.6×10-5Ω·cm，同时可见光透过率高，可达80%以上；且由于原子层沉积为自限制反应，薄膜的均匀性极好。
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公开(公告)号：CN101921984A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010282390.8
申请日：2010-09-15
Applicant: 上海交通大学 , 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 一种纳米表面处理技术领域的基于MoS2-TiC-C的自润滑减摩复合薄膜及其制备方法，通过在不锈钢基片溅射纯钛或纯镍后进一步进行反应磁控溅射制备得到MoS2-TiC-C复合薄膜。本发明制备工艺简单，沉积过程易于控制，沉积后的复合薄膜无需进行热处理，可直接作为机械零部件表面的减摩防护薄膜使用。本工艺制备所得的复合薄膜硬度高，纳米硬度达到7.6GPa，抗磨减摩性能优异，摩擦系数可达到0.04，经摩擦磨损测试后薄膜表面未见磨穿脱落现象。
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公开(公告)号：CN103137714B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201110392239.4
申请日：2011-12-01
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
IPC: H01L31/0216 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及一种太阳能电池三层复合钝化减反层，其特征在于，在硅太阳能电池基底上用原子层沉积方法制备一种三层复合钝化减反层，三层复合钝化减反层的结构从基底自下而上，分别为二氧化钛（TiO2）层、二氧化钛/二氧化硅（TiO2 /SiO2）层、二氧化硅（SiO2） 层。本发明还涉及一种太阳能电池三层复合钝化减反层的制备方法。本发明能够同时起到减反与钝化的作用，一方面降低了太阳能电池表面的反射率，另一方面也能减少载流子复合，提高电池性能，同时通过过渡层的引入，能够进一步提高减反、钝化作用。
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公开(公告)号：CN102994975A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201110272637.2
申请日：2011-09-15
Applicant: 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种铝掺杂氧化锌透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：将反应腔抽真空并加热，用纯度为5N的高纯氮清洗各条气体管路及反应腔；向反应腔通入锌源前驱体脉冲，再清除多余的前驱体；然后通入水蒸汽脉冲，再清洗掉多余的水蒸汽，至此完成一个循环的氧化锌的沉积；同上完成一个循环的氧化铝的沉积；在完成氧化锌和氧化铝循环沉积后，通入高纯氢气，然后清除多余氢气，到此完成一个氢气氛条件下铝掺杂氧化锌薄膜沉积过程；完成铝掺杂氧化锌透明导电氧化物薄膜的制备。较低的制备温度可使AZO薄膜在高分子聚合物等低熔点、柔性衬底上沉积，大大扩展了在AZO薄膜应用范围。
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