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公开(公告)号：CN112795886A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202011572896.2
申请日：2020-12-24
Applicant: 上海治臻新能源装备有限公司
IPC: C23C14/48 , C23C14/58 , C23C14/16 , C23C14/06 , C23C16/06 , C23C16/26 , C23C8/38 , C23C8/26 , C23C8/22 , H01M8/0228
Abstract: 本发明涉及一种用于金属双极板成形的导电耐蚀预涂层及其制备方法，从金属基材向上，依次包括：覆盖在所述金属基材表面上的离子注入层，覆盖在所述离子注入层表面的界面扩散层，以及沉积在所述界面扩散层表面导电层；离子注入层的离子包括贵金属、过渡金属或非金属中的一种或多种；界面扩散层的材质为过渡金属的碳化物或氮化物或非金属；表面导电层的材质为贵金属或导电碳材料。本发明的离子注入层有效地提升了涂层基材之间的结合性能，扩散处理层消除了涂层缺陷并提高了均匀性，表面导电层具有优异导电耐蚀延展性能，避免了在薄板冲压成形过程中产生的涂层开裂以及剥离问题。
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公开(公告)号：CN110284112A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910511609.8
申请日：2019-06-13
Applicant: 上海治臻新能源装备有限公司
IPC: C23C14/35 , C23C14/02 , C23C14/56 , C23C16/513 , C23C16/54 , H01M8/0206 , H01M8/0213 , H01M8/0228
Abstract: 本发明提供一种燃料电池双极板碳涂层的多腔体沉积系统，包括：进片室、离子清洗室、PVD工艺室组、过渡室、PECVD工艺室组、冷却室以及出片室，各腔室按顺序通过门阀串联在一起；各腔室内底部设有传送装置，串联贯穿于整个沉积系统；样品架设在传送装置上；各腔体顶部设有导向装置；传送装置的上端设有偏压滚轮和外部偏压电源相连；除进片室外，其余各腔室内有真空系统和气路系统，底部开有抽气口。本发明将PECVD法和PVD法相结合实现碳涂层的连续制备，采用金属网状结构形成空心阴极放电，增强等离子体密度和均匀性，提高碳涂层的致密性及其沉积效率，提高了燃料电池双极板非晶碳涂层的商业化应用前景。
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公开(公告)号：CN112609152A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011474686.X
申请日：2020-12-15
Applicant: 上海治臻新能源装备有限公司
Abstract: 本发明的用于双极板表面碳材料扩散及复合沉积的连续型设备及应用方法，从左至右依次包括：清洗室、等离子渗碳室、离子轰击室、涂层沉积室和出片过渡室；等离子渗碳室的进口阀门和出口阀门对角设置，内设两条平行的进口传动装置和出口传动装置；3条同步横向传动装置分别与进口传动装置和出口传动装置互相垂直，且将它们分隔成四段；在清洗室、离子轰击室、涂层沉积室以及出片过渡室设有进口阀门、出口阀门和一条极板传动装置；各腔室依次水平对接，将两个相邻腔室互相连接起来；样品架在极板传动装置上，从左至右依次穿过各个腔室，完成涂层的制备。本发明可以在双极板表面连续化沉积碳涂层，提高了涂层和基底之间的结合性能和致密性。
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公开(公告)号：CN112582634A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011298656.8
申请日：2020-11-18
Applicant: 上海治臻新能源装备有限公司
IPC: H01M8/0213 , H01M8/0228 , H01M8/0243 , H01M8/0245
Abstract: 本发明提供一种高耐蚀的燃料电池双极板的多层复合碳涂层，包括：覆盖在双极板金属基材表面上的扩散渗透层；覆盖在所述扩散渗透层上表面的致密耐蚀层；以及覆盖在所述致密耐蚀层上表面的性能调控层；扩散渗透层的材料为C、N、Si、SiC、SiO2和Si3N4中的一种或两种以上的混合物；致密耐蚀层的材料由质量分数≥80%的非晶态碳、≤20%的氢元素和≤5%的氧元素构成；性能调控层的材料包括质量分数为80%～99%的C元素，掺杂0～10%的Si元素、0～10%的F元素、0～5%的O元素、0～10%的N元素、1%～20%的H元素；致密耐蚀层的内部或表面嵌有随机分布的金刚石颗粒或类金刚石碳颗粒。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111525151A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202010306721.0
申请日：2020-04-17
Applicant: 上海治臻新能源装备有限公司
IPC: H01M8/0228 , H01M8/0206
Abstract: 本发明的一种用于燃料电池双极板的抗反极复合涂层，主要包括：覆盖在所述燃料电池双极板的全部表面上的耐蚀层，设在耐蚀层上的贵金属导电薄层以及抗反极材料层；贵金属导电薄层以点状形式嵌入在耐蚀层中或者以层状形式覆盖在耐蚀层的表面；当贵金属导电薄层为点状形式分布时，抗反极材料层以点状形式嵌入或以网状形式覆盖在耐蚀层的局部表面上，且与贵金属导电薄层相互错开不重叠；当贵金属导电薄层为层状形式分布时，抗反极材料层以点状形式嵌入或以网状形式覆盖在贵金属导电薄层的表面上。本发明抑制了反极状态下高电位对金属极板的腐蚀，提高了金属双极板抵抗高电位腐蚀能力，延长了金属极板的使用寿命；减少了贵金属涂层的使用。
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公开(公告)号：CN110541155A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201910940914.9
申请日：2019-09-30
Applicant: 上海治臻新能源装备有限公司
Abstract: 一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统，主要包括：依次为进片腔室、过渡层沉积腔室、金属碳化物层沉积腔室和出片腔室；各个腔室的进出口均设有腔室阀门，腔室阀门将两侧的腔室相互隔开；样品传动装置穿过各个腔室内的底部，形成一条闭合回路；样品架设在样品传动装置上，带着样品从左至右依次穿过各个腔室。本发明采用非平衡磁场和平衡磁场的结合，对磁场方式，电源系统和靶基距的匹配优化，提高了金属碳化物涂层的结合性能和稳定性能；采用连续化的小型沉积设备，引入机械手等自动化设备实现对金属碳化物涂层的快速沉积，可降低涂层制备成本。
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公开(公告)号：CN109576679A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811584590.1
申请日：2018-12-24
Applicant: 上海治臻新能源装备有限公司
Abstract: 本发明的一种燃料电池双极板碳涂层连续沉积系统，包括：进片室、进片过渡室、涂层工艺室、出片过渡室和出片室；进片室外一侧设有出口阀门，进片过渡室、涂层工艺室和出片过渡室的室外两侧分别设有进口阀门和出口阀门，出片室外一侧设有进口阀门；在每两个室之间设有传输室，通过阀门和传输室将各室按照顺序串联连接；样品传送装置穿过沉积系统的各室内部，形成一条闭合回路，样品架设在样品传送装置上；进片过渡室、涂层工艺室和出片过渡室内分别设有真空抽气装置；在涂层工艺室内的底部铺设有加热装置。本发明有效降低涂层沉积时间，实现工艺的连续化运行，对各级涂层工艺实现精确有效监管，提高了涂层的沉积效率，适用于大批量涂层的制备。
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公开(公告)号：CN210657123U
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201921655895.7
申请日：2019-09-30
Applicant: 上海治臻新能源装备有限公司
Abstract: 一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统，主要包括：依次为进片腔室、过渡层沉积腔室、金属碳化物层沉积腔室和出片腔室；各个腔室的进出口均设有腔室阀门，腔室阀门将两侧的腔室相互隔开；样品传动装置穿过各个腔室内的底部，形成一条闭合回路；样品架设在样品传动装置上，带着样品从左至右依次穿过各个腔室。本实用新型采用非平衡磁场和平衡磁场的结合，对磁场方式，电源系统和靶基距的匹配优化，提高了金属碳化物涂层的结合性能和稳定性能；采用连续化的小型沉积设备，引入机械手等自动化设备实现对金属碳化物涂层的快速沉积，可降低涂层制备成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210945766U
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201920889004.8
申请日：2019-06-13
Applicant: 上海治臻新能源装备有限公司
IPC: C23C14/35 , C23C14/02 , C23C14/56 , C23C16/513 , C23C16/54 , H01M8/0206 , H01M8/0213 , H01M8/0228
Abstract: 本实用新型的一种燃料电池双极板碳涂层多腔体沉积系统，包括：进片室、离子清洗室、PVD工艺室组、过渡室、PECVD工艺室组、冷却室以及出片室，各腔室按顺序通过门阀串联在一起；各腔室内底部设有传送装置，串联贯穿于整个沉积系统；样品架设在传送装置上；各腔体顶部设有导向装置；传送装置的上端设有偏压滚轮和外部偏压电源相连；除进片室外，其余各腔室内有真空系统和气路系统，底部开有抽气口。本实用新型将PECVD法和PVD法相结合，采用金属网状结构形成空心阴极放电，增强等离子体密度和均匀性，提高碳涂层的致密性及其沉积效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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