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公开(公告)号：CN119753813A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411853712.8
申请日：2024-12-13
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
Abstract: 本申请涉及晶体加工的领域，具体涉及一种拉晶炉装置，所述装置包括：炉体，所述炉体中设置有容纳硅熔体的坩埚；磁场部件，所述磁场部件设于所述炉体外部，用于生成穿过所述坩埚及所述硅熔体的水平磁场；驱动件，所述驱动件设于所述炉体外部，所述驱动件用于驱动所述所述磁场部件旋转，使所述水平磁场以所述炉体的竖向轴线为中心进行旋转。本申请能够使硅熔体的各部位受到相同的磁场抑制效果，从而实现提升晶体的稳定性、保证晶体的质量的效果。
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公开(公告)号：CN116604410A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310711185.6
申请日：2023-06-15
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
Abstract: 本申请提供一种半导体晶棒的滚磨机设备，涉及半导体晶棒的加工设备领域，其包括夹持装置、移动载台、FT‑IR红外光谱仪、滚磨机、喷水装置、干燥装置及X射线晶向检测装置；夹持装置包括第一夹持部、第二夹持部、第一驱动组件及第一旋转组件；滚磨机用于对工件滚磨；喷水装置用于工件喷水；干燥装置用于工件干燥；X射线晶向检测装置用于对工件进行晶向查找；FT‑IR红外光谱仪用于对工件进行间隙氧含量测量。通过将FT‑IR红外光谱仪、滚磨机、喷水装置、干燥装置及X射线晶向检测装置一同设置在移动载台上，能够在滚磨完成后，自动对晶棒进行间隙氧含量测量，以减少晶棒滚磨完成后的搬运，降低搬运风险，简化工作流程，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN222524756U
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202421257075.3
申请日：2024-06-03
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司 , 上海新昇晶睿半导体科技有限公司
Abstract: 本申请提供一种可移动石英销装置及液面距离测量系统，其中装置包括石英销以及收放控制组件；石英销通过导流筒底部的通孔贯穿导流筒底部，当石英销装置处于测量状态时，石英销下端探出导流筒底部；在硅原料加料的过程中，收起石英销，避免石英销在加料过程中被磕碰导致断裂掉落，污染硅熔液，或沾上溅起的熔硅影响定位功能，达到了更好的液面定位效果；收放控制组件包括石英销连接件、连接件移动机构以及移动机构控制单元，石英销连接件与所述石英销上端固定连接。系统用于在单晶硅生长过程中测量导流筒和硅熔液之间的距离，采用倒影法，通过摄像机拍摄的石英销及其倒影，并上传至图像处理器，图像处理器计算得到精确的液面距离。
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公开(公告)号：CN214114638U
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202023182659.3
申请日：2020-12-25
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
IPC: B66C1/10
Abstract: 本实用新型提供了一种拉晶炉热屏吊装工具，包括挂钩、吊杆和连接件；所述挂钩上设有用于将所述挂钩固定于热屏上的固定件；所述吊杆的底端与所述连接件相连；所述连接件可拆卸式安装于所述挂钩的底部，在所述吊杆的作用下，所述连接件能够与所述挂钩相分离。本实用新型提供的拉晶炉热屏吊装工具可以使得热屏在安装到指定位置处之后或挂钩被卡住后，继续下降所述吊杆的过程中，所述连接件能够与所述挂钩相互分离，从而可以有效地避免因吊杆下降过多而导致的热屏出现裂痕和/或挂钩发生变形的情况的发生。
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