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公开(公告)号:CN111830627A
公开(公告)日:2020-10-27
申请号:CN201910328570.6
申请日:2019-04-23
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明涉及光学技术领域,尤其涉及一种偏振分束器及其形成方法。所述偏振分束器包括:衬底;位于所述衬底表面且均沿第一方向延伸的第一波导、狭缝波导和第二波导;所述第一波导、所述狭缝波导与所述第二波导在沿与所述第一方向垂直的第二方向上平行排列,且所述狭缝波导位于所述第一波导与所述第二波导之间;所述第一方向为光线的传播方向,所述第一方向与所述第二方向均为平行于所述衬底的方向;所述光线中的横磁偏振光能够自所述第一波导经所述狭缝波导耦合至所述第二波导。本发明实现了对光线中TM偏振模式与TE偏振模式的分离,在未来的偏振复用以及传感等方面有着诸多潜在的应用。
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公开(公告)号:CN112305671A
公开(公告)日:2021-02-02
申请号:CN201910676834.7
申请日:2019-07-25
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种基于狭缝波导的锥形偏振分束器及制备方法,分束器包括锥形耦合器及偏振滤波器;锥形耦合器包括条形硅波导及狭缝波导,条形硅波导及狭缝波导在耦合长度方向上具有相反的宽度变化趋势;偏振滤波器包括串联在锥形耦合器的TE输出端的第一偏振滤波器及串联在锥形耦合器的TM输出端的第二偏振滤波器,第一偏振滤波器用以TE偏振态的传导,并将TM偏振态耦合到第一狭缝波导中;第二偏振滤波器用以过滤TE偏振态,并将TM偏振态的偏振模式从第二狭缝波导向第二条形硅波导转化。本发明器件可利用集成工艺制备,工艺简单且容差较大,尺寸较小,在较宽的波长范围内均可以实现较高的消光比,易于实现与其他器件的集成。
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公开(公告)号:CN112305671B
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN201910676834.7
申请日:2019-07-25
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种基于狭缝波导的锥形偏振分束器及制备方法,分束器包括锥形耦合器及偏振滤波器;锥形耦合器包括条形硅波导及狭缝波导,条形硅波导及狭缝波导在耦合长度方向上具有相反的宽度变化趋势;偏振滤波器包括串联在锥形耦合器的TE输出端的第一偏振滤波器及串联在锥形耦合器的TM输出端的第二偏振滤波器,第一偏振滤波器用以TE偏振态的传导,并将TM偏振态耦合到第一狭缝波导中;第二偏振滤波器用以过滤TE偏振态,并将TM偏振态的偏振模式从第二狭缝波导向第二条形硅波导转化。本发明器件可利用集成工艺制备,工艺简单且容差较大,尺寸较小,在较宽的波长范围内均可以实现较高的消光比,易于实现与其他器件的集成。
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公开(公告)号:CN111830627B
公开(公告)日:2023-07-07
申请号:CN201910328570.6
申请日:2019-04-23
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明涉及光学技术领域,尤其涉及一种偏振分束器及其形成方法。所述偏振分束器包括:衬底;位于所述衬底表面且均沿第一方向延伸的第一波导、狭缝波导和第二波导;所述第一波导、所述狭缝波导与所述第二波导在沿与所述第一方向垂直的第二方向上平行排列,且所述狭缝波导位于所述第一波导与所述第二波导之间;所述第一方向为光线的传播方向,所述第一方向与所述第二方向均为平行于所述衬底的方向;所述光线中的横磁偏振光能够自所述第一波导经所述狭缝波导耦合至所述第二波导。本发明实现了对光线中TM偏振模式与TE偏振模式的分离,在未来的偏振复用以及传感等方面有着诸多潜在的应用。
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公开(公告)号:CN210072135U
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201921180966.2
申请日:2019-07-25
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种基于狭缝波导的锥形偏振分束器,分束器包括锥形耦合器及偏振滤波器;锥形耦合器包括条形硅波导及狭缝波导,条形硅波导及狭缝波导在耦合长度方向上具有相反的宽度变化趋势;偏振滤波器包括串联在锥形耦合器的TE输出端的第一偏振滤波器及串联在锥形耦合器的TM输出端的第二偏振滤波器,第一偏振滤波器用以TE偏振态的传导,并将TM偏振态耦合到第一狭缝波导中;第二偏振滤波器用以过滤TE偏振态,并将TM偏振态的偏振模式从第二狭缝波导向第二条形硅波导转化。本实用新型器件可利用集成工艺制备,工艺简单且容差较大,尺寸较小,在较宽的波长范围内均可以实现较高的消光比,易于实现与其他器件的集成。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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