公开(公告)号：CN118883988A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202410904700.7

申请日：2024-07-08

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司

Inventor： 李文兵 ,  乔启峰

IPC: G01P15/03 ,  C23C16/04 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  C23C16/505 ,  G01D5/353

Abstract: 本发明提供一种干涉型FP腔光机加速度传感器，包括依次键合在一起的顶盖层、功能层以及底盖层晶圆；所述顶盖层内表面以及底盖层上表面均开设有相同形状的凹槽，且顶盖层凹槽与底盖层凹槽接合，形成一个具有一定体积的空腔；所述功能层放置在所述空腔内，所述功能层包括悬臂梁以及与悬臂梁连接的质量块；所述顶盖层的内表面以及所述质量块的上表面均设置有分布布拉格式高反膜。本发明还提供了一种干涉型FP腔光机加速度传感器的制造方法，通过分别制作顶盖层、功能层以及底盖层，且完成顶盖层、功能层以及底盖层的制作后，将三片晶圆顺序键合，垂直集成在一起形成一个加速度传感器。本发明提供的加速度传感器，具有制造方便制程简易的优点。

公开(公告)号：CN118880273A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202411047448.9

申请日：2024-08-01

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司

Inventor： 李文兵 ,  杨秀明

IPC: C23C16/04 ,  G02B1/10 ,  C23C14/04 ,  C23C16/505

Abstract: 本发明提供一种镀膜掩膜版的制备方法，包括如下步骤：步骤一：准备衬底，在衬底的一面沉积第一介质层；步骤二：在衬底另一面，沉积一层第二介质层，在第二介质层上刻蚀出窗口；步骤三：刻蚀衬底，直至第二介质层上打开的窗口形成贯穿衬底的空腔，并露出第一介质层后，去除第二介质层；步骤四：在衬底上的空腔内表面以及所述空腔底部的第一介质层内表面镀第一镀膜结构层；步骤五：去除第一介质层，漏出衬底以及位于所述空腔底部的第一镀膜结构层，并在第一镀膜结构层的外表面镀第二镀膜结构层，在所述第二镀膜结构层的表面刻蚀镀膜结构层形成镀膜口，所述镀膜口与空腔联通。本发明的镀膜掩膜版具有镀膜效率高的优点。