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公开(公告)号：CN103091990B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201110335483.7
申请日：2011-10-28
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供一种调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，包括依次设置的光源、投影单元及接收单元，所述投影单元或接收单元中设有电光偏转器，所述光源发出的光束经过投影单元投射成像到待测硅片上后，由所述接收单元接收经硅片反射后光束的成像信息，并通过控制所述电光偏转器的电压来调整光束穿过所述电光偏转器后的偏转角，从而校正成像光斑在像面上的位置。另，本发明还提供一种调焦调平系统中光斑水平位置调整方法。本发明采用楔形棱镜偏转器的电光偏转技术，具有调整速度快、精度及稳定性较高、结构相对简单的优点，对有限空间更有利。
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公开(公告)号：CN102928321B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201110231766.7
申请日：2011-08-12
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明涉及一种掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统，包括依次设置的半导体激光器、激光准直组件、多面棱镜、f-θ物镜组件及接收探测组件，所述半导体激光器发出的激光光束经过激光准直组件准直后由多面棱镜转动反射至f-θ物镜组件，最后聚焦于掩模面进行扫描，扫描的检测信息反射至并由所述接收探测组件接收。本发明的掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统采用了该结构简单的柱面镜，达到相同像质情况下，降低了设计难度，且在有限空间里增大扫描范围，体积减小且有利于光机装校；可以补偿多面棱镜反射面与被扫描面的不垂直度误差；降低了多面棱镜的精度从而降低加工成本，以及降低电机精度要求，同时降低f-θ的加工成本。
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公开(公告)号：CN102445863A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010504775.4
申请日：2010-10-12
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G03F9/00
摘要： 一种能实时补偿波前畸变的调焦调平系统及补偿方法，该系统包括投影方和探测方，从投影方出射的光束经硅片面反射后由探测方的探测狭缝面成像，其特征在于，在探测狭缝面前方设置闭环波前补偿系统，该闭环系统包括波前传感器、波前控制器和波前校正器，光束到达波前传感器的光程与到达探测狭缝面的光程相同，光束进入波前校正器后，矫正后的光束分成两部分，其中的较大部分的光束成像在探测狭缝面上，较小部分的光束进入波前传感器，由波前传感器实时探测出波前误差，波前控制器根据波前传感器测得的误差信号，驱动波前校正器进行波前校正。
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公开(公告)号：CN102129183A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201010022991.5
申请日：2010-01-19
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G03F9/00
摘要： 本发明公开了一种调焦调平测量装置，通过在任一侧的测量光路上设置第一偏置平板和第二偏置平板，第一偏置平板绕第一坐标轴旋转第一角度以补偿投影物镜焦面的漂移，第二偏置平板分别绕第二坐标轴和第三坐标轴旋转第二角度和第三角度以补偿第一偏置平板的旋转所引起的像差，从而能够在较大范围内补偿投影物镜焦面的漂移，同时又能保证成像质量。
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公开(公告)号：CN104280851B
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201310268139.X
申请日：2013-07-01
申请人： 上海微电子装备有限公司
发明人： 卢丽荣
摘要： 本发明公开一种调焦调平自身零平面调整装置，包括：第一反射镜和第二反射镜，该第一反射镜和第二反射镜的反射面平行且彼此相对，以及驱动单元，驱动该第一反射镜和第二反射镜同时沿同一旋转方向旋转相同角度，以实现该调焦调平系统的光斑偏离。本发明同时公开一种使用该自身零平面调整装置的调焦调平系统以及自身零平面调整方法。
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公开(公告)号：CN103365103B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201210101739.2
申请日：2012-04-10
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供一种调焦调平装置，用于调整待测面的焦平面及自身零平面校正，包括：光源模块、光学透镜模块、被测对象以及探测器模块，其特征在于，该光学透镜模块包括投影光阑、调焦双光楔组件、投影光学组件、零平面调整组件和探测光学组件，该光源模块发出的光束经过投影光阑、投影光学组件、第一调焦双光楔后经该被测对象反射形成反射光束，该反射光束依次经过投影光学组件、零平面调整组件以及第二调焦双光楔后被该探测器模块接收。本发明同时提供一种调焦调平方法。
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公开(公告)号：CN104280851A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201310268139.X
申请日：2013-07-01
申请人： 上海微电子装备有限公司
发明人： 卢丽荣
CPC分类号： G03F9/7026 , G03F7/70258
摘要： 本发明公开一种调焦调平自身零平面调整装置，包括：第一反射镜和第二反射镜，该第一反射镜和第二反射镜的反射面平行且彼此相对，以及驱动单元，驱动该第一反射镜和第二反射镜同时沿同一旋转方向旋转相同角度，以实现该调焦调平系统的光斑偏离。本发明同时公开一种使用该自身零平面调整装置的调焦调平系统以及自身零平面调整方法。
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公开(公告)号：CN102129183B
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201010022991.5
申请日：2010-01-19
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G03F9/00
摘要： 本发明公开了一种调焦调平测量装置，通过在任一侧的测量光路上设置第一偏置平板和第二偏置平板，第一偏置平板绕第一坐标轴旋转第一角度以补偿投影物镜焦面的漂移，第二偏置平板分别绕第二坐标轴和第三坐标轴旋转第二角度和第三角度以补偿第一偏置平板的旋转所引起的像差，从而能够在较大范围内补偿投影物镜焦面的漂移，同时又能保证成像质量。
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公开(公告)号：CN102928321A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201110231766.7
申请日：2011-08-12
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明涉及一种掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统，包括依次设置的半导体激光器、激光准直组件、多面棱镜、f-θ物镜组件及接收探测组件，所述半导体激光器发出的激光光束经过激光准直组件准直后由多面棱镜转动反射至f-θ物镜组件，最后聚焦于掩模面进行扫描，扫描的检测信息反射至并由所述接收探测组件接收。本发明的掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统采用了该结构简单的柱面镜，达到相同像质情况下，降低了设计难度，且在有限空间里增大扫描范围，体积减小且有利于光机装校；可以补偿多面棱镜反射面与被扫描面的不垂直度误差；降低了多面棱镜的精度从而降低加工成本，以及降低电机精度要求，同时降低f-θ的加工成本。
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