大视场投影光刻物镜
摘要:
本发明提出了一种大视场投影光刻物镜,采用三种高透材料制成的四组透镜组能够达到2倍放大倍率且视场大的物镜,并且像质量更佳,尤其是波差和像散畸变,此外,采用易加工、成本更低的高透材料,在大幅度提高透过率的同时降低成本。
公开/授权文献
0/0