一种物理气相沉积金属陶瓷复合自润介质涂层及制备方法

    公开(公告)号:CN113493896A

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202110788464.3

    申请日:2021-07-13

    Abstract: 本发明涉及一种物理气相沉积金属陶瓷复合自润介质涂层及制备方法,其中涂层包括通过物理气相沉积法依次设于基底上的Ti层、TiN层、TiCN层以及TiCN/a‑C层。与现有技术相比,本发明中的Ti‑TiN‑TiCN‑TiCN/a‑C多层涂层,以金属Ti作为打底层、金属陶瓷TiN做过渡层的多层化设计方法,不仅提高了涂层与工模具表面的结合力,而且可以释放涂层生长应力,延长裂纹的扩展距离,使得涂层具有良好的韧性及抗热震性能,在提高工模具表面性能的同时,延长其使用寿命,并可适用于有色金属、高分子材料及黑色金属的成型加工,具有适用范围广、加工性能好等特点。

    一种阴极电弧涂层靶材装置

    公开(公告)号:CN113403590B

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202110886258.6

    申请日:2021-08-03

    Abstract: 本发明公开了一种阴极电弧涂层靶材装置,依次互相贴合设置有导电组件、第一绝缘组件、靶材板框、绝缘板、冷却板、导热板和涂层靶材;导电组件与冷却板之间设有电连接组件,导电组件连接外部电极,并通过电连接组件、冷却板和导热板与涂层靶材电连接;导电组件和冷却板分别通过第一绝缘组件和绝缘板与靶材板框绝缘;冷却板、导热板和涂层靶材的周侧设有用于与靶材板框绝缘的第二绝缘组件;冷却板靠近导热板的一表面上设有流槽,流槽与导热板之间形成流体通道,靶材板框和冷却板上设有连通外部和流体通道的进液通道和出液通道;该靶材装置具有靶材利用率高、涂层沉积效率高、冷却效果好、涂层成分均匀及涂层色泽度好的特点。

    一种阴极电弧涂层靶材装置

    公开(公告)号:CN113403590A

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN202110886258.6

    申请日:2021-08-03

    Abstract: 本发明公开了一种阴极电弧涂层靶材装置,依次互相贴合设置有导电组件、第一绝缘组件、靶材板框、绝缘板、冷却板、导热板和涂层靶材;导电组件与冷却板之间设有电连接组件,导电组件连接外部电极,并通过电连接组件、冷却板和导热板与涂层靶材电连接;导电组件和冷却板分别通过第一绝缘组件和绝缘板与靶材板框绝缘;冷却板、导热板和涂层靶材的周侧设有用于与靶材板框绝缘的第二绝缘组件;冷却板靠近导热板的一表面上设有流槽,流槽与导热板之间形成流体通道,靶材板框和冷却板上设有连通外部和流体通道的进液通道和出液通道;该靶材装置具有靶材利用率高、涂层沉积效率高、冷却效果好、涂层成分均匀及涂层色泽度好的特点。

    一种物理气相沉积金属陶瓷复合自润介质涂层

    公开(公告)号:CN215799844U

    公开(公告)日:2022-02-11

    申请号:CN202121582415.6

    申请日:2021-07-13

    Abstract: 本实用新型涉及一种物理气相沉积金属陶瓷复合自润介质涂层及制备方法,其中涂层包括通过物理气相沉积法依次设于基底上的Ti层、TiN层、TiCN层以及TiCN/a‑C层。与现有技术相比,本实用新型中的Ti‑TiN‑TiCN‑TiCN/a‑C多层涂层,以金属Ti作为打底层、金属陶瓷TiN做过渡层的多层化设计方法,不仅提高了涂层与工模具表面的结合力,而且可以释放涂层生长应力,延长裂纹的扩展距离,使得涂层具有良好的韧性及抗热震性能,在提高工模具表面性能的同时,延长其使用寿命,并可适用于有色金属、高分子材料及黑色金属的成型加工,具有适用范围广、加工性能好等特点。

    一种阴极电弧涂层靶材装置

    公开(公告)号:CN215628256U

    公开(公告)日:2022-01-25

    申请号:CN202121794005.8

    申请日:2021-08-03

    Abstract: 本实用新型公开了一种阴极电弧涂层靶材装置,依次互相贴合设置有导电组件、第一绝缘组件、靶材板框、绝缘板、冷却板、导热板和涂层靶材;导电组件与冷却板之间设有电连接组件,导电组件连接外部电极,并通过电连接组件、冷却板和导热板与涂层靶材电连接;导电组件和冷却板分别通过第一绝缘组件和绝缘板与靶材板框绝缘;冷却板、导热板和涂层靶材的周侧设有用于与靶材板框绝缘的第二绝缘组件;冷却板靠近导热板的一表面上设有流槽,流槽与导热板之间形成流体通道,靶材板框和冷却板上设有连通外部和流体通道的进液通道和出液通道;该靶材装置具有靶材利用率高、涂层沉积效率高、冷却效果好、涂层成分均匀及涂层色泽度好的特点。

    CrN/CrAlN/TiAlN纳米多层及其制备方法

    公开(公告)号:CN117778949A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311661603.1

    申请日:2023-12-06

    Abstract: 本发明涉及一种CrN/CrAlN/TiAlN纳米多层及其制备方法,该纳米多层包括依次沉积于基体表面的CrN打底层和具有周期性调制结构的CrN/CrAlN/TiAlN复合多层,所述CrN/CrAlN/TiAlN复合多层的一个周期包括最内层的CrN层、过渡层的CrAlN层和最外层的TiAlN层,所述CrN/CrAlN/TiAlN复合多层采用一个周期时纳米多层的总厚度为269~315nm,所述CrN/CrAlN/TiAlN复合多层的周期数为1~600。与现有技术相比,本发明提高涂层硬度、耐高温及抗氧化性,使涂层使用寿命大大增强。

    一种CrAlTaN多层梯度涂层及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN116988009A

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202310843324.0

    申请日:2023-07-11

    Abstract: 本发明涉及一种CrAlTaN多层梯度涂层及其制备方法与应用,涂层包括自内至外依次沉积在基体表面的CrN打底层、CrAlN过渡层、TaAlN层和CrAlTaN表面膜层;具体方法包括如下步骤:(1)基体表面预处理;(2)制备CrN打底层;(3)制备CrAlN过渡层;(4)制备TaAlN层;(5)制备CrAlTaN表面膜层;CrN打底层、CrAlN过渡层、TaAlN层和CrAlTaN表面膜层的总体厚度为1.8‑2.6μm;CrN打底层的厚度为0.4‑0.6μm,CrAlN过渡层的厚度为0.3‑0.5μm,TiCrN过渡层的厚度为0.3‑0.5μm,CrAlTaN表面膜层的厚度为0.8‑1μm;与现有技术相比,本发明通过层之间梯度叠加的方法使层之间的热膨胀系数差较小,涂层间的内应力变小,不仅增强了涂层与基体间的结合力而且让各层间的结合强度进一步提升。

    一种硬质CrAlSiNO梯度复合涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN116926468A

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202310837173.8

    申请日:2023-07-10

    Abstract: 本发明涉及一种硬质CrAlSiNO梯度复合涂层及其制备方法,该梯度复合涂层包括依次沉积于基体(1)表面的CrN打底层(2)、CrAlN过渡层(3)、CrAlSiN中间层(4)和CrAlSiNO层(5),所述的梯度复合涂层总厚度为6.5~8.5μm;该方法通过阴极电弧离子镀工艺制备梯度复合涂层,包括基体(1)表面活化、CrN打底层(2)制备、CrAlN过渡层(3)制备、CrAlSiN中间层(4)制备和CrAlSiNO层(5)制备。与现有技术相比,本发明的梯度复合涂层表现出优异的高温抗氧化性、良好的力学性能以及耐磨性,且制备方法简单,易于实施,应用于高温轴承上使得高温轴承的使用寿命进一步提升。

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