公开(公告)号：CN116377390A

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202310387091.8

申请日：2023-04-12

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 陈强 ,  张而耕 ,  梁丹丹 ,  周琼 ,  黄彪 ,  徐海潜

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/06 ,  C23C14/22 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明公开了一种金属陶瓷基自润滑复合薄膜及其气相沉积制备方法。该金属陶瓷基自润滑复合薄膜是通过物理气相沉积方法在基体表面沉积获得的涂层，该涂层结构由内向外依次为TiCr/CrN粘合层、周期性调制结构TiAlCrN/TiAlN过渡层、TiCrSiN表层。TiAlCrN/TiAlN过渡层中的TiAlCrN层为金属陶瓷(Ti,Al,Cr)N和金属相Cr‑Ti复合结构，TiCrSiN表层为(Ti,Cr)N和Si3N4复合结构。本发明的金属陶瓷基自润滑复合薄膜具有强度高、耐高温、韧性佳、自润滑、耐磨损等优点，可应用于工模具表面，不仅能够大幅提升工模具在特定环境下的工作特性，而且还能延长工模具的服役寿命，起到节约资源、降低成本的效果。