公开(公告)号：CN116516285A

公开(公告)日：2023-08-01

申请号：CN202310367313.X

申请日：2023-04-07

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 张而耕 ,  付巧慧 ,  梁丹丹 ,  陈强 ,  周琼 ,  黄彪

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/22 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明涉及一种高韧性TiN‑TiAlN/TiAlCN纳米复合涂层及其制备工艺。其中包括采用物理气相沉积技术在基体表面制备TiN‑TiAlN/TiAlCN纳米复合多层薄膜，所述一种高韧性TiN‑TiAlN/TiAlCN纳米复合多层薄膜的流程包括：基体表面预处理、沉积TiN打底层、沉积具有周期性调制结构的TiAlN/TiAlCN纳米复合多层。所述的TiAlN/TiAlCN纳米复合多层中TiAlCN层为TiAlCN和(Ti,Al)(C,N)/a‑C复合结构。与现有薄膜相比，本发明制备的高韧性TiN‑TiAlN/TiAlCN纳米复合多层薄膜设计合理、实用性强、制备工艺简便。将其应用于工模具的表面，不仅能够增强工模具表层膜的韧性，而且此表层膜还具有高硬度、低摩擦系数及良好的耐磨性，大幅的改善了其服役寿命。

公开(公告)号：CN117070886A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202311114821.3

申请日：2023-08-31

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 梁丹丹 ,  张而耕 ,  付巧慧 ,  陈强 ,  周琼 ,  黄彪

IPC: C23C14/02 ,  C23C14/16 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明公开了一种TiZrAlSiN复合梯度薄膜及其制备方法，该TiZrAlSiN复合梯度薄膜包括：依次沉积于基体上的Zr/ZrN打底层、TiAlZrN过渡层、TiZrAlSiN表层。的TiZrAlSiN复合梯度薄膜中Zr/ZrN打底层Zr层与ZrN层之间形成共格效应增加了后续涂层与基体间的粘附性。与现有四元的氮化物薄膜相比，本发明制备的TiZrAlSiN复合梯度薄膜结构设计合理、实用性强。将其应用于工模具的表面，不仅能够增强工模具表层的硬度，而且此薄膜还具有结合力高、抗氧化能力强、耐腐蚀性和耐磨性好，从而可以大幅改善其服役寿命。