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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117036333A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311088688.9
申请日：2023-08-28
Applicant: 上海大学
IPC: G06T7/00 , H01L21/66 , G06N3/042 , G06N3/0895 , G06N3/0464 , G06N3/045 , G06V10/26
Abstract: 本发明公开了一种精度高、适应不同密度变化的晶圆缺陷检测方法，基于变分自编码器(VAE)和教师‑学生模型的半监督学习方法来自动检测晶圆的缺陷。发明使用了基于变分自编码器(VAE)和教师‑学生模型的半监督学习方法来自动检测晶圆的缺陷，这种方法可以有效地利用有限的标记数据，同时还能从大量的未标记数据中学习有用的信息，从而提高模型的性能。
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公开(公告)号：CN115265393B
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202210560072.6
申请日：2022-05-23
Applicant: 上海大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明公开了一种数字散斑干涉微变形测量双模式装置，通过所设计的倒T字型导轨和倒T字型轨道槽，可以根据测量要求灵活地改变测量模式。本发明所设计的分光镜底座，分光镜底座上的弹簧夹具可以保证对不同大小分光镜的夹紧，分光镜底座上的调整旋钮可以调整分光镜的上下位置以保证分光镜与其他光学零件的准直。本发明所设计的物光光纤夹持器支持架和物光光纤安装板，可以根据被测物体所放置的位置旋转物光光纤所照射的角度。本发明通过便携的双模式集成测量系统实现对待测件表面微变形进行测量，提高了测量的效率，减少了测量时间和测量误差，可通过一套系统实现物体的轮廓检测和物体表面的微变形检测。
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公开(公告)号：CN114964033B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202210134027.4
申请日：2022-02-14
Applicant: 上海大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种使用波长移相法测量超表面形貌分布的方法。本发明方法操作步骤：利用波长移相干涉技术对超表面进行干涉图的采集处理：干涉图的移相采集及加权平均化处理、干涉图筛选有效区域、干涉图去除背景噪声。基于时域离散傅里叶变换校正移相值：抽取干涉图特征信号、基于多点时域光照互相关系数剔除无效特征信号、时域傅里叶变换求解移相频率。本发明算法简单，计算量小，求解精度高，对高精度测量超表面具有非常重要的意义。
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公开(公告)号：CN115265393A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210560072.6
申请日：2022-05-23
Applicant: 上海大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明公开了一种数字散斑干涉微变形测量双模式装置，通过所设计的倒T字型导轨和倒T字型轨道槽，可以根据测量要求灵活地改变测量模式。本发明所设计的分光镜底座，分光镜底座上的弹簧夹具可以保证对不同大小分光镜的夹紧，分光镜底座上的调整旋钮可以调整分光镜的上下位置以保证分光镜与其他光学零件的准直。本发明所设计的物光光纤夹持器支持架和物光光纤安装板，可以根据被测物体所放置的位置旋转物光光纤所照射的角度。本发明通过便携的双模式集成测量系统实现对待测件表面微变形进行测量，提高了测量的效率，减少了测量时间和测量误差，可通过一套系统实现物体的轮廓检测和物体表面的微变形检测。
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公开(公告)号：CN114964033A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210134027.4
申请日：2022-02-14
Applicant: 上海大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种使用波长移相法测量超表面形貌分布的方法。本发明方法操作步骤：利用波长移相干涉技术对超表面进行干涉图的采集处理：干涉图的移相采集及加权平均化处理、干涉图筛选有效区域、干涉图去除背景噪声。基于时域离散傅里叶变换校正移相值：抽取干涉图特征信号、基于多点时域光照互相关系数剔除无效特征信号、时域傅里叶变换求解移相频率。本发明算法简单，计算量小，求解精度高，对高精度测量超表面具有非常重要的意义。
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