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1.

实用新型
用于SRP系统研磨机的研磨夹具失效转让

公开(公告)号：CN202192537U

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201120246216.8

申请日：2011-07-13

申请人： 上海华虹NEC电子有限公司

发明人： 赖华平 , 时俊亮 , 孟超

IPC分类号： B24B37/27

摘要： 本实用新型公开了一种用于SRP系统研磨机的研磨夹具，包括套筒、研磨座、螺钉、研磨头；研磨座设置于套筒内，研磨座底部设置研磨头，研磨头通过螺钉与研磨座固定连接；所述研磨头包括圆柱形基座，基座上设置有三个突出的锯齿，锯齿的高度方向延伸至基座的底面；所述研磨座的底面设置有凹槽，凹槽的形状与所述研磨头的底面相配合。所述研磨座的凹槽与所述研磨头之间设有间隙。本实用新型能够确保对同一样品进行多次研磨制样时，都能得到同一个研磨斜面，从而提高分析速度和效率。