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公开(公告)号：CN101860169B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201010199502.3
申请日：2010-06-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02K33/18
Abstract: 一种微机电系统技术领域的微型电磁式宽频带振动能量采集器，包括：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈、拾振结构和支撑结构，其中：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈和拾振结构依次右下而上固定设置，支撑结构位于平面螺旋感应线圈和拾振结构的外侧并与绝缘衬底固定连接。本发明通过多个由弹簧连接的环状永磁体振动模态的叠加实现宽频带能量采集，并利用微结构图形化方法实现永磁体的集成制造，而且由于图形化的永磁体可以有较厚的微结构，因而比电镀永磁体有更好的能量采集和转化效率，与IC工艺相兼容，易于批量化加工。
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公开(公告)号：CN101951111B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201010289298.4
申请日：2010-09-22
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02K35/02
Abstract: 一种微机电技术领域的基于电热驱动的可调频微型振动能量采集器，包括：基座、支撑块、下路电阻丝层、聚合物结构层、上路电阻丝层和拾振磁体，基座、下路电阻丝层、聚合物结构层、上路电阻丝层和拾振磁体依次由下而上固定设置，上路电阻丝层和下路电阻丝层的悬空部分分别包裹于聚合物结构层的悬梁部分并形成三层膜的三明治结构，拾振磁体位于三明治结构上方的顶端并与上路电阻丝层紧密相连。本发明利用上下两路平行排布的金属电阻丝层和中间包夹的热绝缘性聚合物层组成的三明治结构作为悬臂梁来实现调频功能，以充分发挥聚合物结构伸长大、功耗低、结构简单的优势，以实现对悬臂梁的长度、刚度、应力调节。本发明整个结构均可采用标准微加工工艺，与IC工艺相兼容，易于批量化加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101860169A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010199502.3
申请日：2010-06-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02K33/18
Abstract: 一种微机电系统技术领域的微型电磁式宽频带振动能量采集器，包括：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈、拾振结构和支撑结构，其中：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈和拾振结构依次右下而上固定设置，支撑结构位于平面螺旋感应线圈和拾振结构的外侧并与绝缘衬底固定连接。本发明通过多个由弹簧连接的环状永磁体振动模态的叠加实现宽频带能量采集，并利用微结构图形化方法实现永磁体的集成制造，而且由于图形化的永磁体可以有较厚的微结构，因而比电镀永磁体有更好的能量采集和转化效率，与IC工艺相兼容，易于批量化加工。
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公开(公告)号：CN102420517A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110388406.8
申请日：2011-11-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统技术领域的基于图形化永磁体完全集成的微型电磁式振动能量采集器，包括：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈、绝缘材料涂附层、拾振结构、图形化永磁体、支撑结构和引线电极，其中：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈、绝缘材料涂附层、拾振结构、图形化永磁体依次由下而上固定设置，支撑结构与绝缘衬底固定连接，并将拾振结构悬空在绝缘材料涂附层上方。在外界振动时，与拾振结构固定在一起的永磁体因为惯性的运动使感应线圈内的磁通量发生变化从而产生出感应电压。永磁体是利用微结构图形化方法实现集成制造，而且由于图形化的永磁体可以有较厚的微结构，因而比电镀永磁体有更好的能量采集和转化效率，与IC工艺相兼容，易于批量化加工。
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公开(公告)号：CN101951111A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010289298.4
申请日：2010-09-22
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02K35/02
Abstract: 一种微机电技术领域的基于电热驱动的可调频微型振动能量采集器，包括：基座、支撑块、下路电阻丝层、聚合物结构层、上路电阻丝层和拾振磁体，基座、下路电阻丝层、聚合物结构层、上路电阻丝层和拾振磁体依次由下而上固定设置，上路电阻丝层和下路电阻丝层的悬空部分分别包裹于聚合物结构层的悬梁部分并形成三层膜的三明治结构，拾振磁体位于三明治结构上方的顶端并与上路电阻丝层紧密相连。本发明利用上下两路平行排布的金属电阻丝层和中间包夹的热绝缘性聚合物层组成的三明治结构作为悬臂梁来实现调频功能，以充分发挥聚合物结构伸长大、功耗低、结构简单的优势，以实现对悬臂梁的长度、刚度、应力调节。本发明整个结构均可采用标准微加工工艺，与IC工艺相兼容，易于批量化加工。
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公开(公告)号：CN101941670A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN201010255491.6
申请日：2010-08-17
Applicant: 上海交通大学
IPC: B81B3/00
Abstract: 一种微机电系统技术领域的基于永磁阵列的微型电磁式宽频带振动能量采集器，包括：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈、拾振结构和支撑结构，其中：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈和拾振结构依次由下而上固定设置，支撑结构位于平面螺旋感应线圈和拾振结构的外侧并与绝缘衬底固定连接。本装置通过由弹簧连接的圆形永磁体阵列在不同振动模态下，各个永磁体不同振动状态的叠加实现宽频带振动能量采集。永磁阵列是利用微结构图形化方法实现集成制造，而且由于图形化的永磁体可以有较厚的微结构，因而比电镀永磁体有更好的能量采集和转化效率，与IC工艺相兼容，易于批量化加工。
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公开(公告)号：CN101941670B
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201010255491.6
申请日：2010-08-17
Applicant: 上海交通大学
IPC: B81B3/00
Abstract: 一种微机电系统技术领域的基于永磁阵列的微型电磁式宽频带振动能量采集器，包括：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈、拾振结构和支撑结构，其中：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈和拾振结构依次由下而上固定设置，支撑结构位于平面螺旋感应线圈和拾振结构的外侧并与绝缘衬底固定连接。本装置通过由弹簧连接的圆形永磁体阵列在不同振动模态下，各个永磁体不同振动状态的叠加实现宽频带振动能量采集。永磁阵列是利用微结构图形化方法实现集成制造，而且由于图形化的永磁体可以有较厚的微结构，因而比电镀永磁体有更好的能量采集和转化效率，与IC工艺相兼容，易于批量化加工。
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