公开(公告)号：CN101941670B

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN201010255491.6

申请日：2010-08-17

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 丁桂甫 ,  陶凯 ,  杨卓青 ,  王艳 ,  周海林

IPC: B81B3/00

Abstract: 一种微机电系统技术领域的基于永磁阵列的微型电磁式宽频带振动能量采集器，包括：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈、拾振结构和支撑结构，其中：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈和拾振结构依次由下而上固定设置，支撑结构位于平面螺旋感应线圈和拾振结构的外侧并与绝缘衬底固定连接。本装置通过由弹簧连接的圆形永磁体阵列在不同振动模态下，各个永磁体不同振动状态的叠加实现宽频带振动能量采集。永磁阵列是利用微结构图形化方法实现集成制造，而且由于图形化的永磁体可以有较厚的微结构，因而比电镀永磁体有更好的能量采集和转化效率，与IC工艺相兼容，易于批量化加工。

公开(公告)号：CN101941670A

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN201010255491.6

申请日：2010-08-17

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 丁桂甫 ,  陶凯 ,  杨卓青 ,  王艳 ,  周海林

IPC: B81B3/00

Abstract: 一种微机电系统技术领域的基于永磁阵列的微型电磁式宽频带振动能量采集器，包括：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈、拾振结构和支撑结构，其中：绝缘衬底、平面螺旋感应线圈和拾振结构依次由下而上固定设置，支撑结构位于平面螺旋感应线圈和拾振结构的外侧并与绝缘衬底固定连接。本装置通过由弹簧连接的圆形永磁体阵列在不同振动模态下，各个永磁体不同振动状态的叠加实现宽频带振动能量采集。永磁阵列是利用微结构图形化方法实现集成制造，而且由于图形化的永磁体可以有较厚的微结构，因而比电镀永磁体有更好的能量采集和转化效率，与IC工艺相兼容，易于批量化加工。