公开(公告)号：CN101951111B

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201010289298.4

申请日：2010-09-22

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 陶凯 ,  杨卓青 ,  丁桂甫 ,  吴义伯 ,  蔡方伟 ,  王文君

IPC: H02K35/02

Abstract: 一种微机电技术领域的基于电热驱动的可调频微型振动能量采集器，包括：基座、支撑块、下路电阻丝层、聚合物结构层、上路电阻丝层和拾振磁体，基座、下路电阻丝层、聚合物结构层、上路电阻丝层和拾振磁体依次由下而上固定设置，上路电阻丝层和下路电阻丝层的悬空部分分别包裹于聚合物结构层的悬梁部分并形成三层膜的三明治结构，拾振磁体位于三明治结构上方的顶端并与上路电阻丝层紧密相连。本发明利用上下两路平行排布的金属电阻丝层和中间包夹的热绝缘性聚合物层组成的三明治结构作为悬臂梁来实现调频功能，以充分发挥聚合物结构伸长大、功耗低、结构简单的优势，以实现对悬臂梁的长度、刚度、应力调节。本发明整个结构均可采用标准微加工工艺，与IC工艺相兼容，易于批量化加工。

公开(公告)号：CN101951111A

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN201010289298.4

申请日：2010-09-22

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 陶凯 ,  杨卓青 ,  丁桂甫 ,  吴义伯 ,  蔡方伟 ,  王文君

IPC: H02K35/02

Abstract: 一种微机电技术领域的基于电热驱动的可调频微型振动能量采集器，包括：基座、支撑块、下路电阻丝层、聚合物结构层、上路电阻丝层和拾振磁体，基座、下路电阻丝层、聚合物结构层、上路电阻丝层和拾振磁体依次由下而上固定设置，上路电阻丝层和下路电阻丝层的悬空部分分别包裹于聚合物结构层的悬梁部分并形成三层膜的三明治结构，拾振磁体位于三明治结构上方的顶端并与上路电阻丝层紧密相连。本发明利用上下两路平行排布的金属电阻丝层和中间包夹的热绝缘性聚合物层组成的三明治结构作为悬臂梁来实现调频功能，以充分发挥聚合物结构伸长大、功耗低、结构简单的优势，以实现对悬臂梁的长度、刚度、应力调节。本发明整个结构均可采用标准微加工工艺，与IC工艺相兼容，易于批量化加工。