基于相变材料的可控光束转向器

    公开(公告)号:CN111694170A

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN202010539938.6

    申请日:2020-06-15

    Abstract: 一种基于相变材料的可控光束转向器,该器件包括横向排列的下电极,纵向排列的上电极,在上电极和下电极交叉的区域为相变材料层,上下形成三明治结构。光束从底面入射,经过该器件后,从表面输出,通过控制相变材料状态,实现对输出透射光束偏转角的控制。本发明利用相变材料的上下层电极,对相变单元施加电脉冲,电脉冲经过相变材料产生焦耳热使相变区域温度升高,实现相变材料在晶态、非晶态或者混合态间的变换,以此改变透射光输出相位,实现光束转向功能。本发明二维相变阵列可以灵活编程获得任意输出相位分布,从而能实现对光束偏转角的灵活调节。相变材料只在状态切换时消耗能量,因此该器件没有静态功耗。

    硅-相变材料异质集成波导结构、非易失波导移相器

    公开(公告)号:CN116243423A

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN202310229530.2

    申请日:2023-03-10

    Abstract: 一种硅‑相变材料异质集成波导结构,包括硅平板层,以及沉积在该硅平板层上的相变材料。以及一种非易失波导移相器,包括基层,以及固定在该基层上的异质集成波导结构和硅波导模斑转换结构,异质集成波导结构的两端对称连接所述的硅波导模斑转换结构;硅波导模斑转换结构,包括呈轴对称设置的两个由窄变宽的硅波导,以及设置在该两个硅波导上方之间的由宽变窄的脊形波导;氧化铝薄膜覆盖在相变材料的上方,在所述的氧化铝薄膜上方的是单层石墨烯,该单层石墨烯上是金属层,所述的金属层包括二个金属电极。单层石墨烯与金属电极形成欧姆接触,电流通过石墨烯产生热量,经单层石墨烯下方的氧化铝薄膜进行传导,提供低损耗相变材料相变所需的热量。本发明移相器具有结构紧凑、插入损耗低、驱动电压小、相变功耗低、相位调节非易失等优点,可以作为集成光电子芯片中的核心光路调控器件。

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