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发明公开
一体化的高温MEMS振镜转角直接测量方法审中-实审

公开(公告)号：CN119000024A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202411210759.2

申请日：2024-08-30

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 周泽宇 , 胡开明 , 屠尔琪 , 邓心陆 , 张文明

IPC: G01M11/02 , G01B11/26

Abstract: 一种一体化的高温MEMS振镜转角直接测量方法，通过观测设置于不同温度环境下的MEMS振镜在施加驱动电压后反射的光学扫描线长度，通过三角函数关系计算振镜的光学转角与不同温度的关联，得到MEMS振镜的性能退化情况。本发明能够降低部分因温箱运行振动而导致的测量误差，测量精度更高；入射光路与出射光路相互分离避免干扰；并且不需要激光器探入高温温腔内部，对激光器的耐温要求更低。

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