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公开(公告)号：CN113588140B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202110774829.7
申请日：2021-07-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明涉及一种压力传感器、压力传感阵列及其制备方法。所述压力传感器包括：第一衬底，上表面具有第一传感电极、下表面具有第一屏蔽电极；第二衬底，上表面具有第二屏蔽电极、下表面具有第二传感电极，所述第二传感电极与所述第一传感电极相对设置；压敏薄膜，位于所述第一传感电极与所述第二传感电极之间，所述压敏薄膜为掺杂有导电材料的弹性绝缘薄膜，且所述压敏薄膜中具有沿所述第一衬底指向所述第二衬底的方向贯穿所述压敏薄膜的通孔；绝缘层，位于所述压敏薄膜与所述第一传感电极之间、以及所述压敏薄膜与所述第二传感电极之间；封装层。本发明提供的压力传感器在高压和薄厚度下具有更高的灵敏度。
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公开(公告)号：CN111537565B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202010228734.0
申请日：2020-03-27
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种化学传感器定量检测结果预测模型形成方法及检测方法，所述化学传感器定量检测结果预测模型形成方法包括如下步骤：采集目标分析物在不同浓度下的传感器响应数据；根据传感器响应数据获取序列样本集，序列样本集包括多个序列样本组及其标签，标签为序列样本组对应的浓度值；对序列样本集进行数据增强处理，以扩充序列样本集；使用循环神经网络获取扩充后的序列样本集的第一类型特征；提取扩充后的序列样本集的第二类型特征；将第一类型特征及第二类型特征输入多层感知机，以训练形成化学传感器定量检测结果预测模型。本发明利用较少测量数据即可建立浓度与瞬态响应特征之间的关系，处理简单，大大提高了化学传感器定量检测的速度。
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公开(公告)号：CN111537565A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010228734.0
申请日：2020-03-27
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种化学传感器定量检测结果预测模型形成方法及检测方法，所述化学传感器定量检测结果预测模型形成方法包括如下步骤：采集目标分析物在不同浓度下的传感器响应数据；根据传感器响应数据获取序列样本集，序列样本集包括多个序列样本组及其标签，标签为序列样本组对应的浓度值；对序列样本集进行数据增强处理，以扩充序列样本集；使用循环神经网络获取扩充后的序列样本集的第一类型特征；提取扩充后的序列样本集的第二类型特征；将第一类型特征及第二类型特征输入多层感知机，以训练形成化学传感器定量检测结果预测模型。本发明利用较少测量数据即可建立浓度与瞬态响应特征之间的关系，处理简单，大大提高了化学传感器定量检测的速度。
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公开(公告)号：CN113588140A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110774829.7
申请日：2021-07-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明涉及一种压力传感器、压力传感阵列及其制备方法。所述压力传感器包括：第一衬底，上表面具有第一传感电极、下表面具有第一屏蔽电极；第二衬底，上表面具有第二屏蔽电极、下表面具有第二传感电极，所述第二传感电极与所述第一传感电极相对设置；压敏薄膜，位于所述第一传感电极与所述第二传感电极之间，所述压敏薄膜为掺杂有导电材料的弹性绝缘薄膜，且所述压敏薄膜中具有沿所述第一衬底指向所述第二衬底的方向贯穿所述压敏薄膜的通孔；绝缘层，位于所述压敏薄膜与所述第一传感电极之间、以及所述压敏薄膜与所述第二传感电极之间；封装层。本发明提供的压力传感器在高压和薄厚度下具有更高的灵敏度。
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