抽气装置
    1.
    发明公开
    抽气装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN116868015A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202280015437.5

    申请日:2022-02-18

    Abstract: 本发明提供一种能够高效地排出空气的抽气装置。具备:抽气配管(71),其与冷凝器(12)连接,且从冷凝器(12)抽出包含制冷剂气体和空气的混合气体;分离膜(23b),其设置于抽气配管(71),通过压力差从由抽气配管(71)抽出的混合气体中分离空气;排气配管(81),其将包含由分离膜(23b)分离出的空气的气体向外部引导;第一阀(24),其设置于排气配管(81);真空泵(27),其设置于排气配管(81)中的比第一阀(24)靠下游侧的位置,将排气配管(81)内的气体向外部排出;以及控制部(50),控制部(50)运转真空泵(27),且使第一阀(24)成为打开状态,并在检测到规定量的空气透过了分离膜(23b)时,使第一阀(24)成为关闭状态而使因压力差引起的空气的透过停止。

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