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公开(公告)号：CN100333992C
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200510052804.7
申请日：2005-02-28
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C3/008
Abstract: 公开了一种具有高形状精度的微结构的制造方法及其制造系统。在具有预定定位精度和大行程的粗动工作台(51)上，设置有具有小行程和高于粗动工作台(51)定位精度的微动工作台(52)。首先，移动粗动工作台(51)至要求的位置。利用设置在激光长度测量机(64)上的镜子(55)和微动工作台(52)，高精度地测量在微动工作台(52)上的薄膜元件(25)的当前位置。激光长度测量机(64)的测量值反馈到工作台控制装置(61)。通过误差校正单元(64)计算当前位置和目标位置之间的误差。因此，产生误差校正值。并且利用误差校正值移动微动工作台(52)到目标位置。从而校正粗动工作台(51)的误差。
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公开(公告)号：CN1680187A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN200510052804.7
申请日：2005-02-28
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C3/008
Abstract: 公开了一种具有高形状精度的微结构的制造方法及其制造系统。在具有预定定位精度和大行程的粗动工作台(51)上，设置有具有小行程和高于粗动工作台(51)定位精度的微动工作台(52)。首先，移动粗动工作台(51)至要求的位置。利用设置在激光长度测量机(64)上的镜子(55)和微动工作台(52)，高精度地测量在微动工作台(52)上的薄膜元件(25)的当前位置。激光长度测量机(64)的测量值反馈到工作台控制装置(61)。通过误差校正单元(64)计算当前位置和目标位置之间的误差。因此，产生误差校正值。并且利用误差校正值移动微动工作台(52)到目标位置。从而校正粗动工作台(51)的误差。
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公开(公告)号：CN102246266A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200980149748.5
申请日：2009-09-29
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K20/00 , H01L21/677 , B23K101/40
CPC classification number: H01L21/6838 , B23K20/02 , B23K2101/40 , H01L21/67201 , Y10T156/10 , Y10T156/17
Abstract: 本发明涉及一种常温接合装置，该常温接合装置包括：负载固定室，内部气压被减压；卡盘，设置于该负载固定室内部。这时，该卡盘在该基板承载于该卡盘上时，形成与该基板接触的岛部分。该岛部分形成有流路，该流路在该基板承载于该卡盘上时，使该卡盘与该基板夹着的空间与外部连接。在该负载固定室内部的气压减压时，该卡盘和该基板夹着的空间内填充的气体通过该流路向外部排气。因此，这样的常温接合装置，在该气压减压时，该气体可以防止该基板相对于该卡盘移动。
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公开(公告)号：CN101909803B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200880123613.7
申请日：2008-09-29
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L21/02
CPC classification number: B32B37/1009 , B23K20/02 , B32B37/10 , B32B2309/68 , H01L21/187 , H01L21/2007 , H01L21/67092 , H01L21/67253
Abstract: 本发明涉及一种常温接合装置及常温接合方法，该常温接合装置具有排气装置、气体供给装置、压力计、清净装置、压力控制器和压接机构。该排气装置从腔室的内部排出气体。该气体供给装置对该腔室的内部供给导入气体。该压力计测量该腔室的内部的压力。该清净装置在该被测量出的压力处于规定的真空度时在该腔室的内部清净第一基板和第二基板。该压力控制器控制该排气装置和该气体供给装置两者，以使该被测量出的压力与目标压力一致。该压接机构在该被测量出的压力为其目标压力时在该腔室的内部压接该第一基板和第二基板。
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公开(公告)号：CN101960557B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200880127651.X
申请日：2008-03-11
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: H01L21/67778 , H01L21/67092 , H01L21/6732 , H01L21/67748 , H01L21/68 , H01L21/683 , Y10T156/1744
Abstract: 本发明提供一种常温接合装置，其具备：角度调节机构(12)，将保持第一基板的第一试料台(13)支承在第一架台(11)上并可变更所述第一试料台(13)的朝向；第一驱动装置(14)，沿第一方向驱动所述第一架台(11)；第二驱动装置(44)，沿第二方向驱动保持第二基板的第二试料台(46)；以及滑架支承台(45)，在压接所述第二基板和所述第一基板时，沿所述第一方向支承所述第二试料台(46)。此时，常温接合装置可将超过第二驱动装置(44)的耐负荷的大负荷施加于第一基板和第二基板。常温接合装置还能够利用角度调节机构(12)变更第一基板的方向以使第一基板和第二基板平行地接触，能够使接合面均匀地承载所述大负荷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101965241B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN200880127924.0
申请日：2008-11-21
Applicant: 三菱重工业株式会社
Inventor： 田原谕
CPC classification number: H01L21/67092 , B30B15/068
Abstract: 本发明提供晶片接合装置，其具有：第一试样台，其保持第一基板；第二试样台，其保持与该第一基板对置的第二基板；载荷传递部，其与该第一试样台的周缘部接合，并在第一载置台上支承该第一试样台；驱动装置，其通过相对于该第一载置台驱动该第二试样台，将该第一基板和该第二基板压接。此时，在将该第一基板和第二基板压接时，该晶片接合装置可以防止比施加于该第一基板周缘部的载荷大的载荷施加于该第一基板的中央，可以向该第一基板和该第二基板均匀地施加载荷。
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公开(公告)号：CN101965241A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200880127924.0
申请日：2008-11-21
Applicant: 三菱重工业株式会社
Inventor： 田原谕
CPC classification number: H01L21/67092 , B30B15/068
Abstract: 本发明提供晶片接合装置，其具有：第一试样台，其保持第一基板；第二试样台，其保持与该第一基板对置的第二基板；载荷传递部，其与该第一试样台的周缘部接合，并在第一载置台上支承该第一试样台；驱动装置，其通过相对于该第一载置台驱动该第二试样台，将该第一基板和该第二基板压接。此时，在将该第一基板和第二基板压接时，该晶片接合装置可以防止比施加于该第一基板周缘部的载荷大的载荷施加于该第一基板的中央，可以向该第一基板和该第二基板均匀地施加载荷。
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公开(公告)号：CN101909803A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200880123613.7
申请日：2008-09-29
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: B32B37/1009 , B23K20/02 , B32B37/10 , B32B2309/68 , H01L21/187 , H01L21/2007 , H01L21/67092 , H01L21/67253
Abstract: 本发明涉及一种常温接合装置及常温接合方法，该常温接合装置具有排气装置、气体供给装置、压力计、清净装置、压力控制器和压接机构。该排气装置从腔室的内部排出气体。该气体供给装置对该腔室的内部供给导入气体。该压力计测量该腔室的内部的压力。该清净装置在该被测量出的压力处于规定的真空度时在该腔室的内部清净第一基板和第二基板。该压力控制器控制该排气装置和该气体供给装置两者，以使该被测量出的压力与目标压力一致。该压接机构在该被测量出的压力为其目标压力时在该腔室的内部压接该第一基板和第二基板。
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公开(公告)号：CN102246266B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN200980149748.5
申请日：2009-09-29
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K20/00 , H01L21/677 , B23K101/40
CPC classification number: H01L21/6838 , B23K20/02 , B23K2101/40 , H01L21/67201 , Y10T156/10 , Y10T156/17
Abstract: 本发明涉及一种常温接合装置，该常温接合装置包括：负载固定室，内部气压被减压；卡盘，设置于该负载固定室内部。这时，该卡盘在该基板承载于该卡盘上时，形成与该基板接触的岛部分。该岛部分形成有流路，该流路在该基板承载于该卡盘上时，使该卡盘与该基板夹着的空间与外部连接。在该负载固定室内部的气压减压时，该卡盘和该基板夹着的空间内填充的气体通过该流路向外部排气。因此，这样的常温接合装置，在该气压减压时，该气体可以防止该基板相对于该卡盘移动。
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公开(公告)号：CN101960557A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200880127651.X
申请日：2008-03-11
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: H01L21/67778 , H01L21/67092 , H01L21/6732 , H01L21/67748 , H01L21/68 , H01L21/683 , Y10T156/1744
Abstract: 本发明提供一种常温接合装置，其具备：角度调节机构，将保持第一基板的第一试料台支承在第一架台上并可变更所述第一试料台的朝向；第一驱动装置，沿第一方向驱动所述第一架台；第二驱动装置，沿第二方向驱动保持第二基板的第二试料台；以及滑架支承台，在压接所述第二基板和所述第一基板时，沿所述第一方向支承所述第二试料台。此时，常温接合装置可将超过第二驱动装置的耐负荷的大负荷施加于第一基板和第二基板。常温接合装置还能够利用角度调节机构变更第一基板的方向以使第一基板和第二基板平行地接触，能够使接合面均匀地承载所述大负荷。
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