膜厚测定装置及膜厚测定方法

    公开(公告)号:CN103765156A

    公开(公告)日:2014-04-30

    申请号:CN201280041489.6

    申请日:2012-08-21

    Abstract: 本发明提供一种能够对施加到被测定对象上的隔热涂层的膜厚高效率且准确地进行测定的膜厚测定装置及膜厚测定方法。膜厚测定装置(1)具备:对形成在涡轮叶片(11)上的隔热涂敷膜的膜厚进行测定的ECT传感器(4);存储有对隔热涂敷膜的膜厚进行测定的地点即涡轮叶片(11)上的测定地点的存储机构(9);对涡轮叶片(11)的形状进行测定的激光位移计(5);根据由激光位移计(5)测定出的涡轮叶片(11)的形状及存储在存储机构(9)中的涡轮叶片(11)上的测定地点,来算出适合于ECT传感器(4)进行实际的膜厚测定的实际测定地点的测定位置算出机构(8);根据由测定位置算出机构(8)算出的实际测定地点来驱动ECT传感器(4),从而调整ECT传感器(4)的测定位置的臂驱动机构(6)。

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