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公开(公告)号:CN102655974B
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:CN200980162996.3
申请日:2009-12-18
Applicant: 三菱电机株式会社 , 菱电工机工程株式会社
IPC: B23H7/36
Abstract: 本发明所涉及的液质调整装置具有:纯水化单元(9),其使加工液脱离子化;防腐蚀单元(8),其将加工液中的离子交换为防腐蚀离子;导电率测定单元(10),其对加工液的导电率的实际测量值进行测定;存储单元(11),其预先存储上述加工液中的可加工的导电率的上限值即第一基准值、下限值即第二基准值、处于第一基准值和第二基准值之间的第三基准值;以及控制单元(12、13),其基于存储在该存储单元(11)中的基准值和由上述导电率测定单元(10)测定的加工液的导电率实际测量值进行控制,在加工液的导电率超过第一基准值的情况下,仅向纯水化单元(9)通水,如果加工液的导电率低于第二基准值,则停止向纯水化单元(9)通水,并且仅向上述防腐蚀单元(8)通水,如果加工液的导电率超过第三基准值,则停止向防腐蚀单元(8)通水。
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公开(公告)号:CN102655973A
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN200980162737.0
申请日:2009-12-04
Applicant: 三菱电机株式会社 , 菱电工机工程株式会社
IPC: B23H7/36
CPC classification number: B23H7/36 , C02F1/42 , C02F2001/427 , C23F11/181 , C23F11/185 , C23F11/187
Abstract: 一种防蚀装置,其具有:纯水化单元(9),其由氢离子型树脂和氢氧根离子型树脂构成;防蚀单元(8),其由阳离子型树脂、承载有防蚀性离子的阴离子型树脂构成;导电率测量单元(7),其用于对加工液的导电率的实际测量值进行测量;以及控制单元(10、11、12),其根据该导电率测量单元(7),对将加工液向所述纯水化单元(9)、防蚀单元(8)的通入进行控制,在该防蚀装置中,所述控制单元根据预先设定的第1及第2导电率、和由所述导电率测量单元(7)测量出的实际测量值,在所述加工液的实际测量值达到第1导电率之前,向所述纯水化单元以及防蚀单元通入,如果所述实际测量值达到第1导电率,则停止向所述纯水化单元(9)通入,仅向所述防蚀单元(8)通入,如果所述实际测量值上升至第2导电率,则重新开始向所述纯水化单元(9)通入,向所述纯水化单元(9)以及防蚀单元(8)通入。
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公开(公告)号:CN102655973B
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN200980162737.0
申请日:2009-12-04
Applicant: 三菱电机株式会社 , 菱电工机工程株式会社
IPC: B23H7/36
CPC classification number: B23H7/36 , C02F1/42 , C02F2001/427 , C23F11/181 , C23F11/185 , C23F11/187
Abstract: 一种防蚀装置,其具有:纯水化单元(9),其由氢离子型树脂和氢氧根离子型树脂构成;防蚀单元(8),其由阳离子型树脂、承载有防蚀性离子的阴离子型树脂构成;导电率测量单元(7),其用于对加工液的导电率的实际测量值进行测量;以及控制单元(10、11、12),其根据该导电率测量单元(7),对将加工液向所述纯水化单元(9)、防蚀单元(8)的通入进行控制,在该防蚀装置中,所述控制单元根据预先设定的第1及第2导电率、和由所述导电率测量单元(7)测量出的实际测量值,在所述加工液的实际测量值达到第1导电率之前,向所述纯水化单元以及防蚀单元通入,如果所述实际测量值达到第1导电率,则停止向所述纯水化单元(9)通入,仅向所述防蚀单元(8)通入,如果所述实际测量值上升至第2导电率,则重新开始向所述纯水化单元(9)通入,向所述纯水化单元(9)以及防蚀单元(8)通入。
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公开(公告)号:CN102655974A
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN200980162996.3
申请日:2009-12-18
Applicant: 三菱电机株式会社 , 菱电工机工程株式会社
IPC: B23H7/36
Abstract: 本发明所涉及的液质调整装置具有:纯水化单元(9),其使加工液脱离子化;防腐蚀单元(8),其将加工液中的离子交换为防腐蚀离子;导电率测定单元(10),其对加工液的导电率的实际测量值进行测定;存储单元(11),其预先存储上述加工液中的可加工的导电率的上限值即第一基准值、下限值即第二基准值、处于第一基准值和第二基准值之间的第三基准值;以及控制单元(12、13),其基于存储在该存储单元(11)中的基准值和由上述导电率测定单元(10)测定的加工液的导电率实际测量值进行控制,在加工液的导电率超过第一基准值的情况下,仅向纯水化单元(9)通水,如果加工液的导电率低于第二基准值,则停止向纯水化单元(9)通水,并且仅向上述防腐蚀单元(8)通水,如果加工液的导电率超过第三基准值,则停止向防腐蚀单元(8)通水。
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公开(公告)号:CN103124611B
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201180047137.7
申请日:2011-06-14
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 金属丝放电加工装置具备:金属丝电极;通过缠绕上述金属丝电极而使上述金属丝电极并列的导辊;单独地与上述并列的金属丝电极滑动接触的多个滑动接触导体(62);单独地保持上述多个滑动接触导体(62)、通过各滑动接触导体(62)向上述并列的金属丝电极单独地供电的供电夹具,其中,上述供电夹具具备决定上述滑动接触导体(62)的固定间隔的多个基准面。
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公开(公告)号:CN103228387A
公开(公告)日:2013-07-31
申请号:CN201180056169.3
申请日:2011-05-18
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 获得将金属丝(3)在主引导辊(1a~1d)间卷挂多次并同时进行多个切断加工的金属丝放电加工装置,该金属丝放电加工装置抑制切断金属丝部(CL)的振动而能够进行稳定加工。与主引导辊(1a~1d)分开地以引导金属丝(3)并形成抑制了振动的多个切断金属丝部(CL)的方式具备从动式的减振引导辊(7a,7b)或者减振引导件(21a,21b),规定切断金属丝部(CL)相对喷嘴(8a,8b)的位置。
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公开(公告)号:CN102076454B
公开(公告)日:2012-10-10
申请号:CN200980125002.0
申请日:2009-07-23
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23H1/028 , B23H1/022 , B23H2300/20
Abstract: 本发明的放电加工装置设有N个电极E1~En、交流电源G以及N个电容器C1~Cn,交流电源G向电极E1~En共同施加交流电压,电容器C1~Cn的一端分别与电极E1~En连接,并且另一端共同连接到交流电源G。
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公开(公告)号:CN101309770B
公开(公告)日:2010-08-04
申请号:CN200580052095.0
申请日:2005-11-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23H7/02
Abstract: 本发明涉及对太阳能电池用硅等的不良导体的线放电加工方法,和基于该线放电加工方法的半导体晶片制造方法以及太阳能电池用单元制造方法。本发明提供通过在线电极上施加脉冲宽度大于等于1μsec且小于等于4μsec、并且线电极在加工时的峰值电流大于等于10A且小于等于50A的脉冲电压,在上述线电极与加工对象物之间发生放电脉冲,对大于等于0.5Ω·cm且小于等于5Ω·cm的高电阻率硬脆材料进行放电加工的方法。
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公开(公告)号:CN100551594C
公开(公告)日:2009-10-21
申请号:CN200580020223.3
申请日:2005-08-22
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor: 佐藤达志
Abstract: 本发明的金属线放电加工装置具有多根导辊(3a)-(3f)、1根电极金属线(2)、加工电源(6)、高频绝缘器(4),该1根电极金属线(2)通过缠绕在导辊(3a)-(3f)的每一个上,在一对导辊(3a)、(3b)之间形成相互分离的切割金属线部(2a);该加工电源(6)借助供电元件(7),单独地向切割金属线部(2a)的每一个供电;该高频绝缘器(4)具有通过卷绕各相邻的切割金属线部(2a)之间的电极金属线(2)而形成的各线圈(21),以及将该各线圈(21)的磁回路闭合,同时相互磁性绝缘的各芯(41a),供电元件(7)被设置在各切割金属线部(2a)和各线圈(21)之间,各切割金属线部(2a)相互通过各线圈(21)被高频绝缘。其结果为,能够向各个切割金属线部独立施加电压,能够使放电同时并列地产生。
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公开(公告)号:CN100544871C
公开(公告)日:2009-09-30
申请号:CN200480041117.9
申请日:2004-01-29
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23H1/02
Abstract: 一种放电加工装置,具有:电源装置,向工具电极和被加工物的极间供给电力;放电检测电路,检测基于由该电源装置供给的电力在极间产生的放电波形;放电发生次数计数器,计数该放电波形中,规定的采样时间内的放电发生次数Nd;小无负载时间放电发生次数计数器,计数小无负载时间放电次数N2,其中,小无负载时间放电是伴随电源装置施加电压而产生的放电在预先设定的小无负载时间Tdo以内进行的放电;运算装置,根据放电发生次数Nd、小无负载时间放电次数N2,对极间的平均电压Vgs进行运算;以及电极位置控制装置,以使得利用该运算装置运算出的平均电压Vgs成为采样时间Ts内的伺服基准电压SV的方式,进行加工轴控制。
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