线放电加工装置及半导体晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN115916444B

    公开(公告)日:2024-11-29

    申请号:CN202080102529.8

    申请日:2020-09-10

    Abstract: 为了在多线放电加工中减小从被加工物切出的多个薄板状部件的板厚的波动,具有:1根线电极(1),其绕多个引导辊(2)卷绕多次,由此形成并列设置有多个线切断部的并列线部(1a);放电波形控制装置(32),其基于放电波形指令对极间的电压波形或极间的电流波形进行控制;线行进控制装置(35),其基于线电极行进指令对线电极的行进进行控制;切断台驱动装置(34),其基于切断进给台指令对并列线部和被加工物之间的相对位置进行控制;加工状态取得部(33),其取得极间的电气特性即切断部电气特性或与线切断部的状态有关的信息即电极状态信息而作为加工状态信息;以及加工控制装置(31),其基于加工状态信息而决定线电极行进指令、放电波形指令及切断进给台指令。

    线放电加工机
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113677470A

    公开(公告)日:2021-11-19

    申请号:CN201980095291.8

    申请日:2019-04-15

    Abstract: 线放电加工机(100)具有:线电极(1),其在与被加工物(4)之间发生放电而对被加工物(4)进行放电加工;加工液喷嘴(5a、5b),其从与线电极(1)同轴方向将加工液供给至线电极(1)和被加工物(4)之间的间隙;以及加工液引导部(10),其具有夹具板(10a、10b),在夹具板(10a、10b)之间的空间配置被加工物(4),以使得加工液不会从夹具板(10a、10b)之间的空间排出的方式对加工液进行引导,夹具板(10a、10b)的与被加工物(4)相对的面大于被加工物(4)的与夹具板(10a、10b)相对的面。

    放电加工装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1261272C

    公开(公告)日:2006-06-28

    申请号:CN01101647.7

    申请日:2001-01-18

    CPC classification number: B23H1/06 B23H1/04 Y10T29/4921 Y10T428/1216

    Abstract: 一种可以确实地实施并列放电,可以提高放电加工速度的放电加工装置。用层状各向异性导电体11和电阻体12和供电体13构成电极14。层状各向异性导电体11,用使涂敷了绝缘膜的金属薄板进行重叠加压粘接起来的构件,使导电层与不良导电层层状地交替地叠层起来,与不良导电层平行的方向的电导率具有比横切不良导电层的方向的电导率显著地高的各向异性电导率。电阻体12连接到层状各向异性导电体11的叠层横切端面11c上,而供电体13则连接到电阻体12上。

    电火花加工机床
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1070750C

    公开(公告)日:2001-09-12

    申请号:CN95120521.8

    申请日:1995-12-06

    CPC classification number: B23H7/18

    Abstract: 一种用电火花加工一个工件的电火花加工机床,对电极与工件之间间隙供给加工流体,并且在给电极提供跳动的同时,给工件供给脉冲,所述跳动是电极相对工件的一个周期性移动;其中所述电火花加工机床探测在电极与工件之间间隙中由加工操作产生的反作用力在电火花加工机床的主体中引起的状态量,并且按照状态量的探测值改变工件的加工条件。

    线放电加工装置及线放电加工方法

    公开(公告)号:CN117157165A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202180095248.9

    申请日:2021-05-07

    Inventor: 三宅英孝

    Abstract: 控制部(300)以如果切断加工开始,则对切断进给台(10)进行驱动,使对被加工物(W)进行载置固定的被加工物固定板及一对加工液整流板(41)与多个切断线部(1b)接近的方式相对于一对加工液排出防止板(43)向上方移动,以通过上方移动直至被加工物(W)到达第1位置为止将被加工物按压部(46)保持于切断初始位置的方式对保持装置进行控制,以在被加工物(W)到达第1位置后,将被加工物按压部(46)的保持解除的方式对保持装置进行控制。

    金属线放电加工装置以及薄板制造方法

    公开(公告)号:CN102892539B

    公开(公告)日:2014-11-12

    申请号:CN201180024128.6

    申请日:2011-03-23

    CPC classification number: B23H11/003 B23H7/02 B23H9/00

    Abstract: 被加工物保持器10在通过来自相互隔开间隔且被并排的金属线电极2的放电来切割被加工物的金属线放电加工装置的切割加工时保持被加工物8,形成有大致无间隙地嵌入被加工物的嵌入部102,在与嵌入在嵌入部的被加工物一起进行切割加工时,呈现被加工物保持器和被加工物与金属线电极相对置的部分的沿着金属线电极的长度在被加工物的切割加工中大致固定的外形。

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