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公开(公告)号:CN1170649A
公开(公告)日:1998-01-21
申请号:CN97102548.7
申请日:1997-02-26
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明要解决在放电加工热分解碳时加工极不稳定的问题。本发明在工具电极或加工物的至少一方使用有各向异性导电材料的放电加工装置中,在各向异性导电材料2的良导体面20b上,设置了连接各向同性导电体22的部分。使放电发生于各向异性导电材料2的良导电面20b上。使用导电性粘接剂23粘接各向异性导电材料2和各向同性导电体22。各向异性导电材料是热分解碳材料。热分解碳材料作为工具电极材料。纯水等不燃性加工液作为加工液。
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公开(公告)号:CN101309770B
公开(公告)日:2010-08-04
申请号:CN200580052095.0
申请日:2005-11-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23H7/02
Abstract: 本发明涉及对太阳能电池用硅等的不良导体的线放电加工方法,和基于该线放电加工方法的半导体晶片制造方法以及太阳能电池用单元制造方法。本发明提供通过在线电极上施加脉冲宽度大于等于1μsec且小于等于4μsec、并且线电极在加工时的峰值电流大于等于10A且小于等于50A的脉冲电压,在上述线电极与加工对象物之间发生放电脉冲,对大于等于0.5Ω·cm且小于等于5Ω·cm的高电阻率硬脆材料进行放电加工的方法。
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公开(公告)号:CN1096326C
公开(公告)日:2002-12-18
申请号:CN97102548.7
申请日:1997-02-26
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明要解决在放电加工热分解碳时加工极不稳定的问题。本发明在工具电极或加工物的至少一方使用有各向异性导电材料的放电加工装置中,在各向异性导电材料2的良导体面20b上,设置了连接各向同性导电体22的部分。使放电发生于各向异性导电材料2的良导电面20b上。使用导电性粘接剂23粘接各向异性导电材料2和各向同性导电体22。各向异性导电材料是热分解碳材料。热分解碳材料作为工具电极材料。纯水等不燃性加工液作为加工液。
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公开(公告)号:CN101309770A
公开(公告)日:2008-11-19
申请号:CN200580052095.0
申请日:2005-11-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23H7/02
Abstract: 本发明涉及对太阳能电池用硅等的不良导体的线放电加工方法,和基于该线放电加工方法的半导体晶片制造方法以及太阳能电池用单元制造方法。本发明提供通过在线电极上施加脉冲宽度大于等于1μsec且小于等于4μsec、并且线电极在加工时的峰值电流大于等于10A且小于等于50A的脉冲电压,在上述线电极与加工对象物之间发生放电脉冲,对大于等于0.5Ω·cm且小于等于5Ω·cm的高电阻率硬脆材料进行放电加工的方法。
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公开(公告)号:CN1262381C
公开(公告)日:2006-07-05
申请号:CN01803323.7
申请日:2001-10-25
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23H7/20
CPC classification number: B23H7/20
Abstract: 一种电火花线加工装置,它使加工液存在于线和工件之间的间隙内,同时按照规定的加工条件对工件进行加工,其特征在于包括:保存标准加工条件的加工条件存储装置、存储喷咀高度和加工能量的关系的装置、根据上述关系来决定例如粗加工中的加工能量的加工能量决定装置、以及根据加工能量来更改加工条件的加工条件更改装置,按照更改后的加工条件来加工工件。若采用这种结构,则能防止断线,能提高加工面的精度。
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公开(公告)号:CN1394154A
公开(公告)日:2003-01-29
申请号:CN01803323.7
申请日:2001-10-25
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23H7/20
CPC classification number: B23H7/20
Abstract: 一种电火花线加工装置,它使加工液存在于线和工件之间的间隙内,同时按照规定的加工条件对工件进行加工,其特征在于包括:保存加工条件的加工条件存储装置、存储喷嘴高度和加工能量的关系的装置、根据上述关系来决定例如粗加工中的加工能量的加工能量决定装置、以及根据加工能量来更改加工条件的加工条件更改装置,按照更改后的加工条件来加工工件。若采用这种结构,则能防止断线,能提高加工面的精度。
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