公开(公告)号：CN110233120A

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201910156782.0

申请日：2019-03-01

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 鱼住守治

IPC: H01L21/67 ,  B23K3/06

Abstract: 本发明涉及将接合材料从多个喷嘴选择性地喷出的半导体制造装置。半导体制造装置(100)具备涂敷单元(20)和1个注射器(10)，该1个注射器(10)供给接合材料(M1)，该涂敷单元(20)与注射器(10)连接。在涂敷单元(20)安装有喷嘴(N1a、N1b)。涂敷单元(20)具有使从注射器(10)供给的接合材料(M1)从喷嘴(N1a、N1b)选择性地喷出的切换机构(Mc1)。

公开(公告)号：CN110402182B

公开(公告)日：2021-09-21

申请号：CN201780088294.X

申请日：2017-03-16

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 鱼住守治 ,  作谷和彦

IPC: B23K35/40

Abstract: 本发明涉及的板状焊料的制造装置具备：卷盘，其卷绕有焊丝；切断器，其设置于卷盘和从卷盘延伸的焊丝的端部之间，切断焊丝；汇集部，其使切断后的多个焊丝以多个焊丝相互接触的方式汇集；以及辊，其对汇集后的多个焊丝进行轧制，使它们相互压接，形成板状焊料。

公开(公告)号：CN110402182A

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：CN201780088294.X

申请日：2017-03-16

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 鱼住守治 ,  作谷和彦

IPC: B23K35/40

Abstract: 本发明涉及的板状焊料的制造装置具备：卷盘，其卷绕有焊丝；切断器，其设置于卷盘和从卷盘延伸的焊丝的端部之间，切断焊丝；汇集部，其使切断后的多个焊丝以多个焊丝相互接触的方式汇集；以及辊，其对汇集后的多个焊丝进行轧制，使它们相互压接，形成板状焊料。

公开(公告)号：CN119890045A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202411461960.8

申请日：2024-10-18

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 鱼住守治

IPC: H01L21/48 ,  H01L21/67

Abstract: 目的在于提供能够在进行半导体装置的多品种生产的情况下削减焊料成形工具的切换工时的技术。半导体制造装置具有：焊料线供给单元，向被加热后的母材之上供给焊料线；焊料成形单元，具有与焊料线接触至母材而熔融的焊料相接触，使熔融的焊料成形的焊料成形工具；第1驱动机构，以使焊料线供给单元能够在水平方向及铅垂方向上移动的方式进行驱动；第2驱动机构，以使焊料成形单元能够在水平方向及铅垂方向上移动的方式进行驱动；以及控制部，对第1驱动机构及第2驱动机构进行控制。控制部对第2驱动机构进行控制，以使得在使焊料成形工具与熔融的焊料接触之后，在该状态下使焊料成形单元在水平方向上移动。还涉及半导体装置的制造方法。

公开(公告)号：CN119446975A

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202411499878.4

申请日：2019-03-01

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 鱼住守治

IPC: H01L21/67 ,  B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B23K3/06

Abstract: 本发明涉及将接合材料从多个喷嘴选择性地喷出的半导体制造装置。半导体制造装置(100)具备涂敷单元(20)和1个注射器(10)，该1个注射器(10)供给接合材料(M1)，该涂敷单元(20)与注射器(10)连接。在涂敷单元(20)安装有喷嘴(N1a、N1b)。涂敷单元(20)具有使从注射器(10)供给的接合材料(M1)从喷嘴(N1a、N1b)选择性地喷出的切换机构(Mc1)。

公开(公告)号：CN109562494B

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN201680088398.6

申请日：2016-08-17

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 鱼住守治 ,  作谷和彦

IPC: B23K35/40 ,  B23K35/14

Abstract: 本发明涉及的板状焊料的制造方法具备：汇集工序，对多个焊丝进行汇集；以及压接工序，使汇集后的该多个焊丝彼此压接，形成板状焊料。本发明涉及的板状焊料的制造装置具备：汇集部，其对多个焊丝进行汇集；以及压接部，其用于在该汇集部使该多个焊丝彼此压接，形成板状焊料。

公开(公告)号：CN109562494A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201680088398.6

申请日：2016-08-17

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 鱼住守治 ,  作谷和彦

IPC: B23K35/40 ,  B23K35/14

Abstract: 本发明涉及的板状焊料的制造方法具备：汇集工序，对多个焊丝进行汇集；以及压接工序，使汇集后的该多个焊丝彼此压接，形成板状焊料。本发明涉及的板状焊料的制造装置具备：汇集部，其对多个焊丝进行汇集；以及压接部，其用于在该汇集部使该多个焊丝彼此压接，形成板状焊料。