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公开(公告)号：CN109475974B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201780042748.X
申请日：2017-06-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G05B19/404 , B23K26/02 , B23K26/00 , B23K26/04 , B23K26/082
Abstract: 基板测量装置(1)具有：测量用照相机(8)，其取得基板(5)的图像数据，该基板(5)设置有定位用的对准标记(7)，具有被激光加工后的被加工部(6)；测量工作台(4)，其搭载基板(5)，对基板(5)和测量用照相机(8)的相对位置进行变更；图像处理部(12)，其基于图像数据及测量工作台(4)的位置信息，求出对准标记(7)的测量位置坐标及被加工部(6)的测量位置坐标；变换系数计算部(13)，其求出从对准标记(7)的测量位置坐标向对准标记(7)的设计位置坐标的变换系数；以及加工误差计算部(14)，其使用变换系数将被加工部(6)的测量位置坐标坐标变换为变换后位置坐标，根据变换后位置坐标和被加工部(6)的设计位置坐标之差而求出加工误差。
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公开(公告)号：CN105940577B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201580006615.8
申请日：2015-01-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S5/40 , H01S5/0683 , B23K26/06 , B23K26/70
Abstract: 提供一种光束耦合装置等，该光束耦合装置使来自多个光源以及1个或多个预备光源的光束射入至光束耦合光学系统，在经过光束耦合元件后进行耦合而输出，其中，对所述多个光源的故障进行检测，使所述各光源、预备光源以及所述光束耦合光学系统之中的至少一部分移动，取代发生了故障的所述光源的光束而从所述预备光源使光束射入至所述光束耦合光学系统，并在所述光束耦合元件后的光路与来自所述多个光源的光束耦合。
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公开(公告)号：CN105390933B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201510510846.4
申请日：2015-08-19
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S5/06 , B23K26/00 , B23K26/064
Abstract: 激光器装置具有：种光源，其输出光；前置光放大器，其对输出的光进行光学放大；后置光放大器，其对输出的光进行光学放大，包含具有热透镜效应的放大介质；功率监视器部，其对输出的光的平均功率进行测定；种光源驱动器；前置光放大器驱动器；以及控制部，其控制种光源驱动器及前置光放大器驱动器。控制部控制种光源，以选择性地输出连续光或多个脉冲，控制部基于功率监视器部的测定结果，对前置光放大器的增益进行控制，以使得从前置光放大器输出的光的平均功率变为恒定。根据上述的结构，在使用包含具有热透镜效应的放大介质在内的光放大器的情况下，能够抑制热透镜的特性变化，并且在较大的范围内对脉冲光的峰值功率或脉冲能量进行控制。
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公开(公告)号：CN105705468B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201480059234.1
申请日：2014-10-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C03B33/0222 , B23K26/0006 , B23K26/16 , B23K26/382 , B23K26/40 , B23K2103/50 , B23K2103/54 , C03B33/074 , C03B33/082
Abstract: 本发明得到一种激光加工方法，该激光加工方法能够减小在玻璃(2)发生的翘曲，并减小在将保护件(3)从玻璃(2)剥离时在玻璃(2)发生的应力。具有下述工序：保护件形成工序，在玻璃(2)的双面形成保护件(3)；激光加工工序，在保护件形成工序之后，对玻璃(2)与保护件(3)一起照射激光(101)而对玻璃(2)进行加工；以及保护件剥离工序，在激光加工工序之后，从玻璃(2)将保护件(3)剥离。
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公开(公告)号：CN105705468A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201480059234.1
申请日：2014-10-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C03B33/0222 , B23K26/0006 , B23K26/16 , B23K26/382 , B23K26/40 , B23K2103/50 , B23K2103/54 , C03B33/074 , C03B33/082
Abstract: 本发明得到一种激光加工方法，该激光加工方法能够减小在玻璃(2)发生的翘曲，并减小在将保护件(3)从玻璃(2)剥离时在玻璃(2)发生的应力。具有下述工序：保护件形成工序，在玻璃(2)的双面形成保护件(3)；激光加工工序，在保护件形成工序之后，对玻璃(2)与保护件(3)一起照射激光(101)而对玻璃(2)进行加工；以及保护件剥离工序，在激光加工工序之后，从玻璃(2)将保护件(3)剥离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102470481B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN200980160034.4
申请日：2009-07-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23K26/36 , B23K26/146
Abstract: 目的在于提供一种在通过激光来对基板上的薄膜进行划线加工的情况下不需要大型的集尘器、大量的清洗液而正确地进行微细的划线加工的激光加工方法以及装置。通过透镜(102)对来自激光光源(160)的激光(101)进行聚光、从配管(111)的窗部(147)导入、在清洗液(112)中进行传播来从喷嘴(113)进行照射，并且以聚光的激光(101)的光轴为大致中心、以不与聚光的激光光束(101)接触的大小的内径设置的喷嘴(113)喷射从液流控制部(170)供给的清洗液(112)来进行划线加工。
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公开(公告)号：CN118541885A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202280088700.3
申请日：2022-01-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S5/14 , B23K26/064 , H01S5/02253 , H01S5/02255 , H01S5/40
Abstract: 激光装置(1A)具有：第1激光元件(LD1)，其由在y轴方向排列的发光点形成第1光束组(B1)；第2激光元件(LD2)，其由在y轴方向排列的发光点形成第2光束组(B2)；输出镜(14)，其构成外部谐振器的端部，对第1及第2光束组的一部分进行反射，使剩余部透过；会聚光学系统(11)，其被第1及第2光束组非平行地射入，在后级侧，使第1光束组重叠而会聚，并且使第2光束组重叠而会聚；衍射光栅(12)，其配置于第1及第2光束组的至少一部分重叠的交叉点(120)，在与垂直于第1及第2方向的方向即第3方向垂直的平面(50)的面内具有衍射作用；以及平行化光学系统(13)，其配置于衍射光栅和输出镜之间，以第1及第2光束组呈空间分离的状态垂直地射入至输出镜的方式将第1及第2光束组平行化。
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公开(公告)号：CN110050229B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201780075736.7
申请日：2017-05-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02F1/37
Abstract: 波长转换装置(1)具备：第1非线性介质(11)，其将脉冲振荡产生的基波即第1光束(21)向基波的高次谐波即第2光束(22)转换；第2非线性介质(12)，其以第2光束和透过第1非线性介质的第1光束为基础，使第3光束(23)产生；以及调节单元(30)，其对从第1光束向第2光束的转换效率进行调节。在变更了第1光束的脉冲振荡频率的情况下，通过调节单元对转换效率进行调节，从而第1非线性介质的温度中的第3光束的强度的温度依赖性示出单一最大值，并且维持示出最大值的第1非线性介质的温度与第2光束的强度示出最大值的第1非线性介质的温度相同的状态。
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公开(公告)号：CN109478758B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201680087341.4
申请日：2016-07-04
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 激光装置(1)具有：光源(2)，其将作为激励光的激光(La)射出；激光介质(3)，其供由光源(2)射出的激光(La)射入；以及激励光学系统(4)，其使由光源(2)射出的激光(La)射入至激光介质(3)。激励光学系统(4)具有准直透镜及聚光透镜，该准直透镜及聚光透镜将激光介质(3)的供激光(La)射入的端面(3a、3b)中的激光(La)的强度分布在以激光(La)的光轴为中心的周向的整周范围，在光轴的外周方向形成比光轴上的激光(La)的强度强的强度分布。准直透镜及聚光透镜为球面透镜。
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公开(公告)号：CN110036544A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201780074812.2
申请日：2017-03-01
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S5/14
Abstract: 具有：多个激光介质(1、2)，它们所发出的激光束的波长不同；衍射光栅(3)，其使从多个激光介质(1、2)射入的多个激光束重叠地射出；部分反射镜(4)，其对从衍射光栅(3)射出的多个激光束的一部分进行反射而使其返回至衍射光栅(3)，使剩余部分透过；以及多个透镜(5、6)，它们分别配置于多个激光介质(1、2)的每一个和衍射光栅(3)之间，多个透镜(5、6)各自针对在多个激光介质(1、2)和衍射光栅(3)之间形成的每个光路进行配置，使来自多个激光介质(1、2)的激光束在向衍射光栅(3)的入射面上以同一外径进行重叠。
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