公开(公告)号：CN108701594A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201780014830.1

申请日：2017-02-23

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 物种武士 ,  川濑佑介 ,  凑忠玄 ,  竹野祥瑞 ,  永山贵久 ,  南竹春彦 ,  金田和德 ,  巽裕章

IPC: H01L21/265 ,  H01L21/268

CPC classification number: H01L21/268 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0604 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0823 ,  B23K26/0869 ,  B23K26/0876 ,  B23K26/352 ,  B23K26/705 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/56 ,  H01L21/26513

Abstract: 热处理装置具备振荡得到激光的激光振荡器(1)、使从激光振荡器(1)振荡得到的激光向被处理物(5)照射的一个以上的光学系统(2)、以及供被处理物(5)搭载的旋转台(3)，在将通过激光的一次照射得到的被处理物(5)的激活率达到目标值的被处理物(5)的达到温度设为第1温度时，将比第1温度低的第2温度设定为被处理物(5)的达到温度的目标值，从光学系统(2)对被处理物(5)反复进行两次以上激光的照射。

公开(公告)号：CN110214364A

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201880007204.4

申请日：2018-01-18

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 物种武士 ,  川濑佑介 ,  南竹春彦 ,  巽裕章 ,  金田和德

IPC: H01L21/268 ,  C21D1/34 ,  G01K11/12

Abstract: 热处理装置(21)具备：振荡出激光(L)的激光振荡部(1)、保持被激光(L)照射的照射对象物(31)的工件台、将从激光振荡部(1)振荡出的激光(L)引导至照射对象物(31)的光学系统(2)、以及使光学系统(2)与照射对象物(31)的位置关系相对地变化的移动部。另外，热处理装置(21)具备：检测部(9)，检测激光(L)在照射对象物(31)的表面被反射后的第一反射光(R1)的功率；以及判定部(10)，基于由检测部(9)检测出的第一反射光(R1)的功率的检测值，判定在照射对象物(31)中被激光(L)照射的区域的表面温度有无变化。