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公开(公告)号:CN102834547A
公开(公告)日:2012-12-19
申请号:CN201180007492.1
申请日:2011-01-28
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社 , 夏普株式会社
IPC: C23F1/18 , C23F1/26 , H01L21/308 , H01L21/3205 , H01L21/3213 , H01L23/52
CPC classification number: H01L21/32134 , C23F1/18 , C23F1/26 , C23F1/44 , H01L23/53238 , H01L2924/0002 , H05K3/067 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供用于包括铜层和钛层的多层薄膜的蚀刻液和使用其的包括铜层和钛层的多层薄膜的蚀刻方法。一种用于包括铜层和钛层的多层薄膜的蚀刻液和使用其的蚀刻方法,该蚀刻液含有:(A)过氧化氢、(B)硝酸、(C)氟离子供给源、(D)唑类、(E)季铵氢氧化物和(F)过氧化氢稳定剂,且pH为1.5~2.5。
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公开(公告)号:CN102834547B
公开(公告)日:2014-08-20
申请号:CN201180007492.1
申请日:2011-01-28
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社 , 夏普株式会社
IPC: C23F1/18 , C23F1/26 , H01L21/308 , H01L21/3205 , H01L21/3213 , H01L23/52
CPC classification number: H01L21/32134 , C23F1/18 , C23F1/26 , C23F1/44 , H01L23/53238 , H01L2924/0002 , H05K3/067 , H01L2924/00
Abstract: 提供用于包括铜层和钛层的多层薄膜的蚀刻液和使用其的包括铜层和钛层的多层薄膜的蚀刻方法。一种用于包括铜层和钛层的多层薄膜的蚀刻液和使用其的蚀刻方法,该蚀刻液含有:(A)过氧化氢、(B)硝酸、(C)氟离子供给源、(D)唑类、(E)季铵氢氧化物和(F)过氧化氢稳定剂,且pH为1.5~2.5。
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公开(公告)号:CN109196716B
公开(公告)日:2021-01-01
申请号:CN201780031842.5
申请日:2017-05-19
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 扫描天线(1000A)具有:TFT基板(101),其具有第一电介质基板(1)、由第一电介质基板(1)支撑的TFT、栅极总线、源极总线以及贴片电极(15);缝隙基板(201A),其具有第二电介质基板(51)、和形成于第二电介质基板(51)的第一主面上的缝隙电极(55);液晶层(LC),其设置在TFT基板(101)与缝隙基板(201A)之间;反射导电板(65),其以隔着电介质层(54)与第二电介质基板(51)的第一主面相反侧的第二主面相对的方式配置,缝隙电极(55)具有与贴片电极(15)对应配置的缝隙(57),贴片电极(15)连接到对应的TFT的漏极,在缝隙(57)中形成有低介电损耗物质层(57A),其由相对于微波的介电损耗小于构成液晶层(LC)的液晶材料的物质构成。
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公开(公告)号:CN109690870A
公开(公告)日:2019-04-26
申请号:CN201780048005.3
申请日:2017-07-28
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 一种具有扫描天线的液晶面板(100A),其具有:TFT基板(101A),其具有第一电介质基板(1)、由第一电介质基板(1)支承的TFT、栅极总线、源极总线、以及贴片电极(15);缝隙基板(201A),其具有第二电介质基板(51)、和形成在第二电介质基板(51)的第一主面上并与贴片电极(15)对应配置的具有缝隙(57)的缝隙电极(55);液晶层(LC),其设置在TFT基板(101A)与缝隙基板(201A)之间。TFT基板以及缝隙基板的一个基板,在被密封部所包围的区域内,在相较于贴片电极(15)或者缝隙电极(55)更靠近液晶层(LC)一侧具有由树脂形成的突出层(44a),突出层(44a)被配置为与缝隙电极(55)以及缝隙(57)均不重叠。
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公开(公告)号:CN103984166B
公开(公告)日:2017-08-25
申请号:CN201410222378.6
申请日:2008-08-04
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02F1/1345 , G02F1/1362 , G02F1/1368 , H01L27/12 , H01L21/84
CPC classification number: G02F1/1345 , H01L27/1244 , H01L27/1288
Abstract: 本发明涉及有源矩阵基板、有源矩阵基板的制造方法和液晶显示装置。本发明涉及用于液晶显示装置的有源矩阵基板和具备该有源矩阵基板的液晶显示装置。本发明的有源矩阵基板具备:基板;形成在基板上的栅极配线;和层间绝缘层,该层间绝缘层用于将形成在栅极配线上的其它层与栅极配线绝缘,在基板的一部分区域中,层间绝缘层不设置在栅极配线的上表面而使上表面露出,另一方面,在栅极配线的至少沿着长度方向的端面,层间绝缘层以与端面相接的方式设置在基板上。根据本发明,能够减少在有源矩阵基板的制造时和部件安装时的不良情况的产生,因此能够利用在追求低成本且高可靠性的液晶显示装置的制造中。
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公开(公告)号:CN103984166A
公开(公告)日:2014-08-13
申请号:CN201410222378.6
申请日:2008-08-04
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02F1/1345 , G02F1/1362 , G02F1/1368 , H01L27/12 , H01L21/84
CPC classification number: G02F1/1345 , H01L27/1244 , H01L27/1288
Abstract: 本发明涉及有源矩阵基板、有源矩阵基板的制造方法和液晶显示装置。本发明涉及用于液晶显示装置的有源矩阵基板和具备该有源矩阵基板的液晶显示装置。本发明的有源矩阵基板具备:基板;形成在基板上的栅极配线;和层间绝缘层,该层间绝缘层用于将形成在栅极配线上的其它层与栅极配线绝缘,在基板的一部分区域中,层间绝缘层不设置在栅极配线的上表面而使上表面露出,另一方面,在栅极配线的至少沿着长度方向的端面,层间绝缘层以与端面相接的方式设置在基板上。根据本发明,能够减少在有源矩阵基板的制造时和部件安装时的不良情况的产生,因此能够利用在追求低成本且高可靠性的液晶显示装置的制造中。
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公开(公告)号:CN1215365C
公开(公告)日:2005-08-17
申请号:CN03122272.2
申请日:2003-04-25
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 中村涉
IPC: G02F1/136 , G02F1/1343 , H01L21/3205
CPC classification number: G02F1/1362 , G02F1/133516 , G02F1/136213 , G02F2001/136222
Abstract: 本发明揭示一种液晶显示装置,使用塑料基板作基板,能提供轻量化、抗冲击性、低成本化、并防止因基板的伸缩导致的显示图象品位的降低。包括:在塑料基板的上侧形成的反射电极;在反射电极上形成的彩色滤光器层;以及形成在该彩色滤光器层的上侧、同时在彩色滤光器层的周边部与反射电极电气连接的透明电极。从反射电极的侧端到彩色滤光器层的侧端的距离,根据形成彩色滤光器层及透明电极的工序中的基板的伸缩量来确定。把从反射电极的侧端到彩色滤光器层的侧端的距离设定得比伴随基板的伸缩发生的反射电极与彩色滤光器层间的位置偏离量及反射电极与透明电极间的位置偏离量大。所述伸缩量是以反射电极为基准的、所述工序前后的基板的中心到端部的距离的变化量与工序前的基板的中心到端部的距离的比值。
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公开(公告)号:CN108496277B
公开(公告)日:2020-09-08
申请号:CN201680079814.6
申请日:2016-10-17
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 扫描天线(1000)是排列有天线单位(U)的扫描天线,包括:TFT基板(101),其具有第一电介质基板(1)、TFT、栅极总线、源极总线和贴片电极(15);缝隙基板(201),其具有第二电介质基板(51)和形成于第二电介质基板的第一主面上的缝隙电极(55);液晶层LC,其设置于TFT基板和缝隙基板之间;反射导电板(65),其以隔着电介质层(54)与第二电介质基板(51)的与第一主面相反一侧的第二主面相对的方式配置;缝隙电极具有分别与贴片电极对应配置的缝隙,还具有被配置于TFT基板(101)的外侧或缝隙基板(201)的外侧的加热器部(68)。
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公开(公告)号:CN107409455B
公开(公告)日:2019-04-12
申请号:CN201680014312.5
申请日:2016-03-03
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H05B33/10 , B23K26/064 , B23K26/402 , B23K26/57 , H01L21/02 , H01L27/12 , H01L51/50 , H05B33/02
Abstract: 具备:元件形成工序,在透明的支承基板8上形成基板层10之后,在该基板层10上形成薄膜元件;和元件剥离工序,通过从支承基板8的与形成有基板层10和薄膜元件的一侧相反的一侧照射激光La和Lb,使基板层10和薄膜元件从支承基板8剥离,在元件剥离工序中,从相互不同的多个方向照射激光La、Lb。
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