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公开(公告)号：CN1274872C
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200410038119.4
申请日：2004-05-08
申请人： 三洋电机株式会社
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243 , Y10T24/44641 , Y10T24/44769 , Y10T24/44855 , Y10T117/10
摘要： 一种蒸发装置的固定构件，是在蒸发装置纵长方向释出均匀蒸镀物的蒸发装置中，以电热加热器(12)覆盖坩埚(10)上部开口的状态予以配置。然后，在电热加热器(12)侧面部设置多个角材(20)，将角材(20)以夹具(24)按压固定。而该夹具(24)是在底部具有以板状弹性材料弯成凸状的弯曲部，使该底部与对应的上端爪部(24f)间产生按压力，借此将坩埚(10)予以挟持。
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公开(公告)号：CN1550572A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN200410037527.8
申请日：2004-04-28
申请人： 三洋电机株式会社
IPC分类号： C23C14/26
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/26
摘要： 本发明提供一种蒸发装置，其目的在于向长度方向释出均匀的蒸镀物。该蒸发装置是通过通电至配置于长条的坩锅(10)的上部的电热加热器(12)，收纳于坩锅(10)内，且将设置于电热加热器(12)的下方的蒸发材料予以加热，而使气化的蒸镀材料从所通过的电热加热器(12)的开口释出。对于该坩锅(10)的外部施有金属涂层(25)，藉此，即可减少辐射至坩锅(10)的外部的热，且可以较高效率将电热加热器(12)所产生的热利用于蒸发材料的升温。因此，可使长条坩锅(10)内的加热得以有效率，且达到内部温度均匀化的目的。
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公开(公告)号：CN1550569A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN200410038118.X
申请日：2004-05-08
申请人： 三洋电机株式会社
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/26 , C23C14/243 , Y10T117/10
摘要： 一种能在整个长度方向均匀地放出蒸发材料的蒸发装置，其具备：上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚(10)；覆盖长形坩埚(10)的上部开放部，且通过通电而发热，以对长形坩埚(10)内下方的上述蒸发材料加热，且具有经加热而气化的蒸发材料可通过的开口的电热器(12)；以及将该电热器(12)朝长形坩埚(10)按压并予以固定的线材(22)，且在线材(22)及电热器(12)之间，沿长形坩埚(10)的长度方向配置有角材(20)，以通过上述角材(20)使线材22的按压力在长形坩埚(10)的长度方向作用，以使电热器(12)密接于长形坩埚(10)。
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公开(公告)号：CN1288276C
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200410037527.8
申请日：2004-04-28
申请人： 三洋电机株式会社
IPC分类号： C23C14/26
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/26
摘要： 本发明提供一种蒸发装置，其目的在于向长度方向释出均匀的蒸镀物。该蒸发装置是通过通电至配置于长条的坩锅(10)的上部的电热加热器(12)，收纳于坩锅(10)内，且将设置于电热加热器(12)的下方的蒸发材料予以加热，而使气化的蒸镀材料从所通过的电热加热器(12)的开口释出。对于该坩锅(10)的外部施有金属涂层(25)，藉此，即可减少辐射至坩锅(10)的外部的热，且可以较高效率将电热加热器(12)所产生的热利用于蒸发材料的升温。因此，可使长条坩锅(10)内的加热得以有效率，且达到内部温度均匀化的目的。
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公开(公告)号：CN1550571A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN200410038120.7
申请日：2004-05-08
申请人： 三洋电机株式会社
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/26 , C23C14/243
摘要： 本发明提供一种蒸发装置，可沿着长边方向释出均一的蒸镀物。是以电热加热器(12)覆盖用以收容蒸发材料的长尺坩埚(10)，并在此进行通电使坩埚(10)内部加热，接着，为了对该电热加热器(12)通电，乃设置使电热加热器(12)端部与电极(26)形成电性连接的连接板(28)，并以电阻值相异的多个金属板构成该连接板(28)。借此，有助于将连接板(28)的电阻值调整到适当的程度。
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公开(公告)号：CN1274871C
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200410038118.X
申请日：2004-05-08
申请人： 三洋电机株式会社
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/26 , C23C14/243 , Y10T117/10
摘要： 一种能在整个长度方向均匀地放出蒸发材料的蒸发装置，其具备：上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚(10)；覆盖长形坩埚(10)的上部开放部，且通过通电而发热，以对长形坩埚(10)内下方的上述蒸发材料加热，且具有经加热而气化的蒸发材料可通过的开口的电热器(12)；以及将该电热器(12)朝长形坩埚(10)按压并予以固定的线材(22)，且在线材(22)及电热器(12)之间，沿长形坩埚(10)的长度方向配置有角材(20)，以通过上述角材(20)使线材22的按压力在长形坩埚(10)的长度方向作用，以使电热器(12)密接于长形坩埚(10)。
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公开(公告)号：CN1550570A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN200410038119.4
申请日：2004-05-08
申请人： 三洋电机株式会社
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243 , Y10T24/44641 , Y10T24/44769 , Y10T24/44855 , Y10T117/10
摘要： 一种蒸发装置的固定构件，是在蒸发装置纵长方向释出均匀蒸镀物的蒸发装置中，以电热加热器(12)覆盖坩埚(10)上部开口的状态予以配置。然后，在电热加热器(12)侧面部设置多个角材(20)，将角材(20)以夹具(24)按压固定。而该夹具(24)是在底部具有以板状弹性材料弯成凸状的弯曲部，使该底部与对应的上端爪部(24f)间产生按压力，借此将坩埚(10)予以挟持。
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