发明公开
CN1550570A 蒸发装置的固定构件
失效 - 权利终止
- 专利标题： 蒸发装置的固定构件
- 专利标题（英）： Fixing member for evaporation apparatus
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申请号： CN200410038119.4申请日： 2004-05-08
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公开(公告)号： CN1550570A公开(公告)日： 2004-12-01
- 发明人: 落合真世 , 岩濑博俊 , 加藤晴三 , 远藤铁郎
- 申请人： 三洋电机株式会社
- 申请人地址： 日本大阪府守口市
- 专利权人： 三洋电机株式会社
- 当前专利权人： 三洋电机株式会社
- 当前专利权人地址： 日本大阪府守口市
- 代理机构： 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 戈泊; 王刚
- 优先权： 2003－130708 2003.05.08 JP; 2004－111439 2004.04.05 JP
- 主分类号： C23C14/24
- IPC分类号： C23C14/24
摘要：
一种蒸发装置的固定构件，是在蒸发装置纵长方向释出均匀蒸镀物的蒸发装置中，以电热加热器(12)覆盖坩埚(10)上部开口的状态予以配置。然后，在电热加热器(12)侧面部设置多个角材(20)，将角材(20)以夹具(24)按压固定。而该夹具(24)是在底部具有以板状弹性材料弯成凸状的弯曲部，使该底部与对应的上端爪部(24f)间产生按压力，借此将坩埚(10)予以挟持。
公开/授权文献
- CN1274872C 蒸发装置的固定构件 公开/授权日：2006-09-13
IPC分类:
