发明授权
CN1274871C 蒸发装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 蒸发装置
- 专利标题(英): Evaporation apparatus
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申请号: CN200410038118.X申请日: 2004-05-08
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公开(公告)号: CN1274871C公开(公告)日: 2006-09-13
- 发明人: 岩濑博俊 , 加藤晴三 , 落合真世 , 远藤铁郎
- 申请人: 三洋电机株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府守口市
- 专利权人: 三洋电机株式会社
- 当前专利权人: 三洋电机株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府守口市
- 代理机构: 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 戈泊; 王刚
- 优先权: 2003-130704 2003.05.08 JP; 2004-111433 2004.04.05 JP
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24
摘要:
一种能在整个长度方向均匀地放出蒸发材料的蒸发装置,其具备:上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚(10);覆盖长形坩埚(10)的上部开放部,且通过通电而发热,以对长形坩埚(10)内下方的上述蒸发材料加热,且具有经加热而气化的蒸发材料可通过的开口的电热器(12);以及将该电热器(12)朝长形坩埚(10)按压并予以固定的线材(22),且在线材(22)及电热器(12)之间,沿长形坩埚(10)的长度方向配置有角材(20),以通过上述角材(20)使线材22的按压力在长形坩埚(10)的长度方向作用,以使电热器(12)密接于长形坩埚(10)。
公开/授权文献
- CN1550569A 蒸发装置 公开/授权日:2004-12-01
IPC分类: