发明授权
CN1274871C 蒸发装置 失效 - 权利终止

蒸发装置
摘要:
一种能在整个长度方向均匀地放出蒸发材料的蒸发装置,其具备:上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚(10);覆盖长形坩埚(10)的上部开放部,且通过通电而发热,以对长形坩埚(10)内下方的上述蒸发材料加热,且具有经加热而气化的蒸发材料可通过的开口的电热器(12);以及将该电热器(12)朝长形坩埚(10)按压并予以固定的线材(22),且在线材(22)及电热器(12)之间,沿长形坩埚(10)的长度方向配置有角材(20),以通过上述角材(20)使线材22的按压力在长形坩埚(10)的长度方向作用,以使电热器(12)密接于长形坩埚(10)。
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