公开(公告)号：CN108699706B

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN201780013656.9

申请日：2017-04-20

Applicant: 三洋化成工业株式会社

Inventor： 儿岛俊贵 ,  佐藤祥平 ,  胜川吉隆

IPC: C23F1/44 ,  H01L21/306 ,  H01L21/308

Abstract: 本发明的目的在于提供一种蚀刻液，其能够从具有铜和/或铜合金以及镍和/或镍合金的基材中选择性地除去铜和/或铜合金。本发明的蚀刻液是从具有铜和/或铜合金与镍或镍合金的基材中对上述铜和/或铜合金进行蚀刻的蚀刻液，上述蚀刻液含有有机酸(A)和氧化剂(B)，上述有机酸(A)的酸解离常数(pKa)为‑1.10～2.60，使用镍作为工作电极、使用以饱和KCl溶液填充的Ag/AgCl作为参比电极、使用上述蚀刻液作为电解质溶液测定的第一腐蚀电位为0.1V以上、0.5V以下。

公开(公告)号：CN108699706A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201780013656.9

申请日：2017-04-20

Applicant: 三洋化成工业株式会社

Inventor： 儿岛俊贵 ,  佐藤祥平 ,  胜川吉隆

IPC: C23F1/44 ,  H01L21/306 ,  H01L21/308

Abstract: 本发明的目的在于提供一种蚀刻液，其能够从具有铜和/或铜合金以及镍和/或镍合金的基材中选择性地除去铜和/或铜合金。本发明的蚀刻液是从具有铜和/或铜合金与镍或镍合金的基材中对上述铜和/或铜合金进行蚀刻的蚀刻液，上述蚀刻液含有有机酸(A)和氧化剂(B)，上述有机酸(A)的酸解离常数(pKa)为‑1.10～2.60，使用镍作为工作电极、使用以饱和KCl溶液填充的Ag/AgCl作为参比电极、使用上述蚀刻液作为电解质溶液测定的第一腐蚀电位为0.1V以上、0.5V以下。

公开(公告)号：CN105431508A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201480042248.2

申请日：2014-08-21

Applicant: 三洋化成工业株式会社

Inventor： 冈本毅 ,  胜川吉隆 ,  山崎祐亮 ,  儿岛俊贵 ,  福岛刚 ,  嘉村光真

IPC: C10M173/02 ,  C10M105/14 ,  C10M105/18 ,  C10M105/40 ,  C10M105/62 ,  C10M107/34 ,  C10M133/08 ,  C10N20/04 ,  C10N30/00 ,  C10N30/06 ,  C10N30/12 ,  C10N40/02 ,  C10N40/04 ,  C10N40/08

CPC classification number: C10M133/08 ,  C10M105/18 ,  C10M105/36 ,  C10M105/40 ,  C10M105/68 ,  C10M119/08 ,  C10M169/02 ,  C10M169/04 ,  C10M173/02 ,  C10M2207/0225 ,  C10M2207/0406 ,  C10M2207/2895 ,  C10M2209/1075 ,  C10M2215/042 ,  C10M2215/0425 ,  C10N2220/021 ,  C10N2230/06 ,  C10N2230/12 ,  C10N2240/02 ,  C10N2240/04 ,  C10N2240/08

Abstract: 本发明为水溶性润滑油，其含有水溶性基剂(A)和防锈剂(B)，所述水溶性基剂(A)含有至少1种聚醚(A1)，水溶性润滑油的0.1重量％水溶液的表面张力为31mN/m以上。

公开(公告)号：CN105431508B

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201480042248.2

申请日：2014-08-21

Applicant: 三洋化成工业株式会社

Inventor： 冈本毅 ,  胜川吉隆 ,  山崎祐亮 ,  儿岛俊贵 ,  福岛刚 ,  嘉村光真

IPC: C10M173/02 ,  C10M105/14 ,  C10M105/18 ,  C10M105/40 ,  C10M105/62 ,  C10M107/34 ,  C10M133/08 ,  C10N20/04 ,  C10N30/00 ,  C10N30/06 ,  C10N30/12 ,  C10N40/02 ,  C10N40/04 ,  C10N40/08

CPC classification number: C10M133/08 ,  C10M105/18 ,  C10M105/36 ,  C10M105/40 ,  C10M105/68 ,  C10M119/08 ,  C10M169/02 ,  C10M169/04 ,  C10M173/02 ,  C10M2207/0225 ,  C10M2207/0406 ,  C10M2207/2895 ,  C10M2209/1075 ,  C10M2215/042 ,  C10M2215/0425 ,  C10N2220/021 ,  C10N2230/06 ,  C10N2230/12 ,  C10N2240/02 ,  C10N2240/04 ,  C10N2240/08

Abstract: 本发明为水溶性润滑油，其含有水溶性基剂(A)和防锈剂(B)，所述水溶性基剂(A)含有至少1种聚醚(A1)，水溶性润滑油的0.1重量％水溶液的表面张力为31mN/m以上。