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公开(公告)号:CN105431508A
公开(公告)日:2016-03-23
申请号:CN201480042248.2
申请日:2014-08-21
申请人: 三洋化成工业株式会社
IPC分类号: C10M173/02 , C10M105/14 , C10M105/18 , C10M105/40 , C10M105/62 , C10M107/34 , C10M133/08 , C10N20/04 , C10N30/00 , C10N30/06 , C10N30/12 , C10N40/02 , C10N40/04 , C10N40/08
CPC分类号: C10M133/08 , C10M105/18 , C10M105/36 , C10M105/40 , C10M105/68 , C10M119/08 , C10M169/02 , C10M169/04 , C10M173/02 , C10M2207/0225 , C10M2207/0406 , C10M2207/2895 , C10M2209/1075 , C10M2215/042 , C10M2215/0425 , C10N2220/021 , C10N2230/06 , C10N2230/12 , C10N2240/02 , C10N2240/04 , C10N2240/08
摘要: 本发明为水溶性润滑油,其含有水溶性基剂(A)和防锈剂(B),所述水溶性基剂(A)含有至少1种聚醚(A1),水溶性润滑油的0.1重量%水溶液的表面张力为31mN/m以上。
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公开(公告)号:CN103502409A
公开(公告)日:2014-01-08
申请号:CN201280014979.7
申请日:2012-03-29
申请人: 三洋化成工业株式会社
IPC分类号: C10M173/02 , B28D5/04 , H01L21/304 , C10N30/04 , C10N30/18 , C10N40/22
CPC分类号: C10M173/02 , C10M2209/104 , C10N2220/021 , C10N2240/50 , C10M2209/105
摘要: 本发明提供一种切削液,此切削液在硅锭的切削工序中,加工热的冷却性、渗透性、水与硅的反应抑制性、抑泡性比原有的切削液更良好,因此可以提高切削加工效率。另外,硅晶圆的平坦性也良好,因此即便在严酷的切片条件下也能将被加工面的表面精度维持得高。本发明的硅锭切片用含水切削液的特征在于:含有下述通式(1)所表示的具有3个~8个羟基的化合物(a)的聚氧亚烷基加成物(A)与水作为必需成分,并且该聚氧亚烷基加成物(A)的亲水亲油平衡值为6.0~20.0。R{O-(A1O)m-H}f (1)[式(1)中,R表示从具有3个~8个羟基的化合物中去掉羟基所得的残基,(A1O)表示碳数为2~4的氧亚烷基;m表示碳数为2~4的环氧烷的平均加成摩尔数且为1~350的数,f为3~8的整数。]
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公开(公告)号:CN105431508B
公开(公告)日:2018-11-30
申请号:CN201480042248.2
申请日:2014-08-21
申请人: 三洋化成工业株式会社
IPC分类号: C10M173/02 , C10M105/14 , C10M105/18 , C10M105/40 , C10M105/62 , C10M107/34 , C10M133/08 , C10N20/04 , C10N30/00 , C10N30/06 , C10N30/12 , C10N40/02 , C10N40/04 , C10N40/08
CPC分类号: C10M133/08 , C10M105/18 , C10M105/36 , C10M105/40 , C10M105/68 , C10M119/08 , C10M169/02 , C10M169/04 , C10M173/02 , C10M2207/0225 , C10M2207/0406 , C10M2207/2895 , C10M2209/1075 , C10M2215/042 , C10M2215/0425 , C10N2220/021 , C10N2230/06 , C10N2230/12 , C10N2240/02 , C10N2240/04 , C10N2240/08
摘要: 本发明为水溶性润滑油,其含有水溶性基剂(A)和防锈剂(B),所述水溶性基剂(A)含有至少1种聚醚(A1),水溶性润滑油的0.1重量%水溶液的表面张力为31mN/m以上。
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公开(公告)号:CN103502409B
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201280014979.7
申请日:2012-03-29
申请人: 三洋化成工业株式会社
IPC分类号: C10M173/02 , B28D5/04 , H01L21/304 , C10N30/04 , C10N30/18 , C10N40/22
CPC分类号: C10M173/02 , C10M2209/104 , C10N2220/021 , C10N2240/50 , C10M2209/105
摘要: 本发明提供一种硅锭切片用含水切削液、硅锭切片方法、硅晶圆及其制造方法、电子材料及太阳电池用单元。本发明的硅锭切片用含水切削液的特征在于:含有下述通式(1)所表示的具有3个~8个羟基的化合物(a)的聚氧亚烷基加成物(A)与水作为必需成分,并且该聚氧亚烷基加成物(A)的亲水亲油平衡值为6.0~20.0。R{O-(A1O)m-H}f (1)[式(1)中,R表示从具有3个~8个羟基的化合物中去掉羟基所得的残基,(A1O)表示碳数为2~4的氧亚烷基;m表示碳数为2~4的环氧烷的平均加成摩尔数且为1~350的数,f为3~8的整数]。
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