激光照射装置、构图方法及有机发光显示器的制备方法

    公开(公告)号:CN1816236A

    公开(公告)日:2006-08-09

    申请号:CN200510129760.3

    申请日:2005-12-05

    Abstract: 本发明公开了一种激光照射装置、一种构图方法和使用该方法的制备OLED的方法。激光照射装置包括:光源、掩模以及投影透镜,菲涅耳透镜形成在掩模的预定部分以改变光路。当使用该激光照射装置形成有机层图案时,将激光辐射照射到待切割的有机层的区域上,并且激光辐射适当地照射到待从施主基板分离的有机层的区域上。照射到有机层图案的边缘上的激光辐射具有的能量密度大于照射到有机层图案的其它部分上的激光辐射的能量密度。于是,可以形成均匀的有机层图案,并且减少对有机层图案的损伤。

    激光诱发热成像设备及激光诱发热成像方法

    公开(公告)号:CN1944070A

    公开(公告)日:2007-04-11

    申请号:CN200610163937.6

    申请日:2006-08-30

    CPC classification number: B41J2/325 H01L51/0013 H01L51/56

    Abstract: 本发明公开了一种激光诱发热成像设备及激光诱发热成像方法。激光诱发热成像设备具有处于附着框架和基底台内的电磁体,以便使供体膜紧紧附着于基底上。该激光诱发热成像设备包括处理腔室,该腔室包括供体膜和基底并用来实施将供体膜沉积到基底上的工序;具有第一电磁体的基底台,该基底台位于工序腔室内用来支撑基底;具有第二电磁体的附着框架,该附着框架位于基底台上方,供体膜和基底被设置于处理腔室内的基底台和附着框架之间;以及用于将激光输出提供给供体膜的激光振荡器。

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