公开(公告)号：CN111378084A

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN201911356022.0

申请日：2019-12-25

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 朴昭姸 ,  金永珉 ,  兪龙植

IPC: C08G12/26 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  G03F7/11

Abstract: 本发明公开一种聚合物、一种包含聚合物的硬掩模组合物以及一种使用硬掩模组合物来形成图案的方法，聚合物包含通过反应混合物的反应获得的结构单元，反应混合物包含：经取代或未经取代的吲哚或其衍生物；在末端处具有经取代或未经取代的C3到C20支链烷基的第一芳香族醛化合物；以及与第一芳香族醛化合物不同的第二芳香族醛化合物。

公开(公告)号：CN118689035A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202410317231.9

申请日：2024-03-20

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 郑铉日 ,  金永珉 ,  金艺眞 ,  朴昭姸 ,  梁善暎 ,  裵信孝 ,  李性恩 ,  朴亨锡 ,  宋綵璘

IPC: G03F7/004 ,  G03F1/00 ,  G03F7/11 ,  G03F7/20

Abstract: 公开一种硬掩模组合物、包含所述硬掩模组合物的固化产物的硬掩模层以及使用从所述硬掩模组合物制造出的硬掩模层来形成图案的方法。所述硬掩模组合物包含：聚合物，包括由化学式1表示的结构单元；以及溶剂，[化学式1]#imgabs0#

公开(公告)号：CN111378084B

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN201911356022.0

申请日：2019-12-25

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 朴昭姸 ,  金永珉 ,  兪龙植

IPC: C08G12/26 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  G03F7/11

Abstract: 本发明公开一种聚合物、一种包含聚合物的硬掩模组合物以及一种使用硬掩模组合物来形成图案的方法，聚合物包含通过反应混合物的反应获得的结构单元，反应混合物包含：经取代或未经取代的吲哚或其衍生物；在末端处具有经取代或未经取代的C3到C20支链烷基的第一芳香族醛化合物；以及与第一芳香族醛化合物不同的第二芳香族醛化合物。