公开(公告)号：CN103884874A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201310359048.7

申请日：2013-08-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 崔允赫 ,  吴光宰 ,  金国铉

IPC: G01R1/04 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/07378 ,  G01R31/2889 ,  H01F27/2828

Abstract: 本发明公开了一种预空间变换器、空间变换器以及半导体装置检查设备，预空间变换器包括：基板，具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；以及信号电极、功率电极、和接地电极，布置在第一表面上，其中，信号电极、功率电极、和接地电极在构造单元图案时重复地布置。

公开(公告)号：CN103884874B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201310359048.7

申请日：2013-08-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 崔允赫 ,  吴光宰 ,  金国铉

IPC: G01R1/04 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/07378 ,  G01R31/2889 ,  H01F27/2828

Abstract: 本发明公开了一种预空间变换器、空间变换器以及半导体装置检查设备，预空间变换器包括：基板，具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；以及信号电极、功率电极、和接地电极，布置在第一表面上，其中，信号电极、功率电极、和接地电极在构造单元图案时重复地布置。

公开(公告)号：CN103887264A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201310532486.9

申请日：2013-10-30

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 崔允赫 ,  吴光宰 ,  金起荣

IPC: H01L23/488 ,  H01L23/28 ,  H01L25/065 ,  H01L21/60 ,  H01L21/56 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01F27/2804 ,  G01R1/07378 ,  G01R31/26 ,  G01R31/2889 ,  H01F27/29 ,  H01F27/292

Abstract: 本发明公开一种预空间变换器、空间变换器、以及半导体装置检查设备，该预空间变换器包括：基板，具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；独立电极，布置于第一表面上；以及共用电极，布置于基板中，其中，独立电极在构造单元图案的同时重复地布置。