公开(公告)号：CN103884874B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201310359048.7

申请日：2013-08-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 崔允赫 ,  吴光宰 ,  金国铉

IPC: G01R1/04 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/07378 ,  G01R31/2889 ,  H01F27/2828

Abstract: 本发明公开了一种预空间变换器、空间变换器以及半导体装置检查设备，预空间变换器包括：基板，具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；以及信号电极、功率电极、和接地电极，布置在第一表面上，其中，信号电极、功率电极、和接地电极在构造单元图案时重复地布置。

公开(公告)号：CN103884874A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201310359048.7

申请日：2013-08-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 崔允赫 ,  吴光宰 ,  金国铉

IPC: G01R1/04 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/07378 ,  G01R31/2889 ,  H01F27/2828

Abstract: 本发明公开了一种预空间变换器、空间变换器以及半导体装置检查设备，预空间变换器包括：基板，具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；以及信号电极、功率电极、和接地电极，布置在第一表面上，其中，信号电极、功率电极、和接地电极在构造单元图案时重复地布置。