公开(公告)号：CN106876365A

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201610939502.X

申请日：2016-10-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： R.阿兹马特 ,  S.威克 ,  金秀贤 ,  朴哲弘 ,  林载炯

IPC: H01L23/522 ,  H01L23/528

CPC classification number: H01L23/5286 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/823814 ,  H01L21/823821 ,  H01L21/823871 ,  H01L21/823878 ,  H01L27/0207 ,  H01L27/092 ,  H01L27/0924 ,  H01L29/0653 ,  H01L29/0847 ,  H01L29/1608 ,  H01L29/161 ,  H01L29/165 ,  H01L29/66545 ,  H01L29/7848 ,  H01L23/5226 ,  H01L23/528

Abstract: 一种逻辑半导体器件，包括：多个有源图案，在水平方向上延伸并且在垂直方向上彼此间隔开；隔离层，限定所述有源图案；在有源图案和隔离层上在垂直方向上延伸的多个栅极图案，所述栅极图案在水平方向上彼此间隔开；多个下配线，在栅极图案上方在水平方向上延伸；多个上配线，在下配线上方在垂直方向上延伸；贯穿接触，连接上配线中的至少一个上配线以及栅极图案中的至少一个栅极图案，贯穿接触从上配线的底表面延伸到相对于有源图案的下配线之一的底表面之下的位置。

公开(公告)号：CN106876365B

公开(公告)日：2021-05-04

申请号：CN201610939502.X

申请日：2016-10-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： R.阿兹马特 ,  S.威克 ,  金秀贤 ,  朴哲弘 ,  林载炯

IPC: H01L23/522 ,  H01L23/528

Abstract: 一种逻辑半导体器件，包括：多个有源图案，在水平方向上延伸并且在垂直方向上彼此间隔开；隔离层，限定所述有源图案；在有源图案和隔离层上在垂直方向上延伸的多个栅极图案，所述栅极图案在水平方向上彼此间隔开；多个下配线，在栅极图案上方在水平方向上延伸；多个上配线，在下配线上方在垂直方向上延伸；贯穿接触，连接上配线中的至少一个上配线以及栅极图案中的至少一个栅极图案，贯穿接触从上配线的底表面延伸到相对于有源图案的下配线之一的底表面之下的位置。